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《热加工工艺》2022年2月第51卷第4期
TiZrHf中熵合金表面MPCVD法制备金刚石
-碳化物涂层及其摩擦磨损性能研究
薛晨，王永胜，于盛旺，黑鸿君，高洁，马永，周兵，吴艳霞
(太原理工大学材料科学与工程学院，山西太原030000)
摘要：采用微波等离子化学气相沉积(MPCVD)法，以高纯甲烷和氢气为反应气体，在TiZrHf中熵合金表面碳化
-沉积获得碳化物/金刚石涂层。利用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、摩擦磨损等方法表征了不同甲烷浓度条件
下涂层的组织结构、物相组成、硬度及耐磨性能。结果表明，碳化-沉积后涂层的主要成分为金属碳化物和纳米金刚石颗
粒，表面硬度明显提升。其中，甲烷浓度为3%时，涂层的表面硬度最高（约660.2HV)，摩擦系数最低，且耐磨性得到极
大改善。
关键词TiZrHf：合金;MPCVD;碳化物；纳米金刚石颗粒;摩擦磨损
DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.
中图分类号：TG135.5文献标识码：A文章编号：1001-3814(2022)04-0087-04
StudyonFrictionandWearPropertyofDiamond-carbideCoatingsSynthesized
onTiZrHfMid-entropyAlloybyMPCVDMethod
XUEChen,WANGYongsheng,YUShengwang,HEIHongjun,
GAOJie,MAYong,ZHOUBing,WUYanxia
(MaterialsScienceandEngineering,TaiyuanUniversityofTechnology,Taiyuan030000,China)
AbstractDiamond-carbide：coatingsweresynthesizedonTiZrHfmid-entropyalloybymicrowaveplasmachemical
vapordeposition(MPCVD)methodwithhigh-puritymethane(CH4)andhydrogen(H2)asreactiongases.Thestructure,phase
composition,hardnessandwearpropertyofthecoatingswereobtainedundertheconditionofdifferentCH4concentration.
Theresultsshowthatthemaincomponentsofthecoatingsaftercarbonization-depositionaremetalliccarbideandnano
diamondparticles,andthesurfacehardnessisenhancedobviously.Amongthem,thecoatingspreparedwith3%methane
concentrationpossessthehighesthardness(about660.2HV)andthelowestfrictioncoefficient,andthewear-resistingproperty
wasmodifiedsignificantly.
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