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《热加工工艺》2019年11月第48卷第22期

•综述•

EBSD技术及其在钛合金织构分析中的研究进展

苏连朋气刘汉源；王文先1,于振涛7周廉2

(1.太原理工大学新材料界面科学与工程省部共建教育部重点实验室，山西太原030024;2.西北有色金属研究院陕

西省医用金属材料重点实验室，陕西西安710016)

摘要：电子背散射衍射(EBSD)技术是分析多晶体显微结构及组织的先进方法，其织构分析兼具XRD和TEM

的优点，近年来受到了广泛的关注。钛合金具有比强度高、密度小、耐腐蚀性好等突出优点，被广泛应用于航空航天、生

物医用等领域。钛合金在变形时往往产生相变和形变织构，影响各项性能，且由于钛合金存在多晶型转变，织构情况也

更加复杂。概述了EBSD的工作原理和衍射花样信息，介绍了EBSD检测试样的制备，总结了该技术在不同类型钛合金

织构研究中的应用和研究进展。

关键词：电子背散射衍射(EBSD)；钛合金；相变；变形织构

DOI:10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.22.001

中图分类号:TG115.2文献标识码：A文章编号:1001-3814(2019)22-0001-06

ResearchProgressofEBSDTechnologyandItsResearch

inTextureAnalysisofTitaniumAlloys

SULianpeng,LIUHanyuan2,WANGWenxian1,YUZhentao2,ZHOULian2

(1.KeyLaboratoryofInterfaceScienceandEngineeringinAdvancedMaterials,MinistryofEducation,TaiyuanUniversityof

Technology,Taiyuan030024,China;2.NorthwestInstituteforNonferrousMetalResearch,ShaanxiKeyLaboratoryof

BiomedicalMetalMaterials,Xian710016,China)

Abstract:Electronbackscatterdiffraction(EBSD)isanadvancedmethodforanalyzingthemicrostructureof

polycrystals.ItstextureanalysishastheadvantagesofbothXRDandTEM,whichhasattractedwideattentioninrecentyears.

Tialloyshavetheexcellentcharacteristicsofhighspecificstrength,lowdensityandcorrosionresistance,whicharewidely

usedinaerospace,biomedicine,etc.Thephasetransformationanddeformationtextureoftenoccurduringdeformationand

heattreatment,whichaffectstheperformanceoftitaniualloys.Andforthepolycrystallinetransformation,thetextureofthe

alloyismorecomplex.TheoperationalprincipleanddiffractionpatterninformationofEBSDwereoutlined.Thepreparation

ofEBSDtestingsam