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低温冷凝泵的工作原理解析

一、低温冷凝泵的基本概念

低温冷凝泵是一种利用深低温（通常低于120K，即-153℃）实现气体捕获的真空获得设备，核心原理是通过低温表面使气体分子发生物理冷凝或吸附，从而从目标空间中移除气体，达到高真空（极限真空可达10?1?~10?12Pa）效果。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、空间模拟等对真空度要求极高且需无油污染的场景。

二、核心结构与工作原理

低温冷凝泵的工作依赖“制冷系统+气体捕获系统”的协同作用，具体过程分为3步：

1.深低温环境构建（制冷系统核心）

制冷部件：主要采用闭式循环制冷机（如斯特林制冷机、吉福德-麦克马洪制冷机），通过制冷剂（如氦气）的压缩-膨胀循环，将冷板温度降至两级低温：

一级冷板（约80~120K）：用于预冷气体、减少二级冷板的热负荷，同时冷凝部分高沸点气体（如水蒸气、二氧化碳，沸点分别为373K、194.7K）；

二级冷板（约10~20K）：核心冷凝/吸附区域，表面温度接近液氦温度，用于处理低沸点气体。

2.气体分子的“冷凝捕获”（针对可冷凝气体）

当目标空间中的气体（如氮气、氧气、氩气，沸点分别为77K、90K、87K）接触到10~20K的二级冷板时，气体分子的热运动动能迅速降低，无法克服冷板表面的分子引力，直接从气态转变为固态（凝华），附着在冷板表面，实现“物理截留”。

一级冷板会先拦截高沸点杂质气体（如水汽），避免其在二级冷板表面结冰增厚，影响低温效果。

3.轻气体的“吸附捕获”（针对不可冷凝气体）

对于沸点极低的轻气体（如氢气、氦气，沸点分别为20.3K、4.2K），即使在20K以下也难以凝华，需通过吸附剂辅助捕获：

在二级冷板表面覆盖多孔吸附材料（如活性炭、分子筛），低温下吸附剂的比表面积增大、吸附能力显著增强，可通过“范德华力”将氢气、氦气分子牢牢吸附在孔隙中，避免其逃逸。

三、工作特点与关键逻辑

无油污染：全程无机械摩擦部件，无需润滑油，避免油蒸气对真空环境的污染，适合高精度工艺；

高抽速与高真空：低温表面对气体的捕获效率远高于传统真空泵（如分子泵），可快速达到超高真空；

再生需求：当冷板表面的冷凝物/吸附气体达到饱和时，需通过“加热-排气”再生（将冷板升温至室温，使冷凝物汽化、吸附气体脱附，再通过辅助真空泵排出），恢复捕获能力。