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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破及本土供应能力评估报告.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破及本土供应能力评估报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体行业发展现状分析 3

    1、产业整体发展概况 3

    年电子特种气体市场规模与增长趋势 3

    产业链结构及主要参与企业分布 4

    2、电子特种气体纯化技术应用现状 6

    主流纯化技术路线及其在半导体、显示面板等领域的应用比例 6

    国内现有纯化技术水平与国际先进水平的差距分析 7

    二、关键技术突破路径与研发进展评估 8

    1、核心纯化技术发展动态 8

    低温精馏、吸附分离、膜分离等关键技术的国产化进展 8

    高纯度（6

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