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公司掩膜版制造工岗位设备安全操作规程

文件名称：公司掩膜版制造工岗位设备安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司掩膜版制造工岗位，涉及所有掩膜版制造设备的安全操作。规程旨在确保操作人员的人身安全，防止设备故障导致的财产损失和环境污染。操作人员必须熟悉本规程，严格遵守，确保生产安全、高效进行。规程内容涵盖设备操作前准备、操作流程、维护保养及紧急情况处理等方面。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员须穿戴符合国家标准的安全帽、防护眼镜、防尘口罩、防静电手套、防静电鞋等防护用品。长发需束起，避免接触设备或产生静电。进入洁净室操作时，需佩戴洁净服和洁净帽，确保身体及衣物洁净。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备外观是否完好，无损坏、裂纹、腐蚀等。

b.检查设备各部件连接是否牢固，传动带、链条等有无磨损。

c.检查电气设备是否完好，绝缘性能是否符合要求。

d.检查液压系统有无泄漏，油液是否符合规定标准。

e.检查冷却系统是否正常，冷却液液位和清洁度是否符合要求。

f.检查安全防护装置是否完好，如紧急停止按钮、限位开关等。

3.作业环境基本要求：

a.作业区域应保持整洁，无杂物堆放，通道畅通。

b.作业环境应保持适宜的温度、湿度和洁净度，符合洁净室标准。

c.设备周围应留有足够的安全距离，便于操作和检查。

d.作业时，注意保持地面干燥，防止滑倒。

e.严禁在设备运行过程中进行清洁、维修等操作。

f.作业过程中，如发现异常情况，应立即停止操作，报告相关部门处理。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作流程步骤：

a.启动设备前，确认所有防护措施已到位，设备处于待机状态。

b.按照设备操作手册的指示，逐步完成设备预热、自检等准备步骤。

c.依照工艺要求，正确放置掩膜版，确保位置准确无误。

d.启动设备，监控设备运行状态，包括压力、速度、温度等参数。

e.作业过程中，保持对设备运行数据的实时监控，及时调整参数。

f.作业完成后，停止设备，关闭电源，清理工作区域。

2.特定操作的技术规范：

a.操作掩膜版时，需轻柔放置，避免造成划痕或损伤。

b.设备调整时，严格按照设备参数设置，避免超限操作。

c.作业过程中，禁止随意触摸设备高温区域，防止烫伤。

d.严禁在设备运行时进行任何调整或清洁工作。

3.异常情况处理程序：

a.发现设备异常时，立即停止操作，切断电源。

b.对异常情况进行初步判断，如无法自行处理，立即通知维修人员。

c.在等待维修期间，采取措施隔离设备，防止事故扩大。

d.处理完毕后，由维修人员检查确认设备恢复正常，方可重新启动。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动和噪音。

b.各电机、传动带、链条等运转顺畅，无卡滞现象。

c.设备各部件温度正常，无过热迹象。

d.电气系统无异常闪烁，电源电压稳定。

e.液压系统压力稳定，油液清洁无污染。

f.冷却系统运行正常，冷却液温度适宜。

g.安全防护装置工作正常，紧急停止按钮响应迅速。

2.常见故障现象：

a.设备运行中突然停止，无报警信号。

b.设备出现异常振动、噪音或温度异常升高。

c.电气系统出现短路、断路或电压不稳定。

d.液压系统压力波动大，油液泄漏或污染。

e.冷却系统故障，冷却液温度过高或过低。

3.状态监控方法：

a.通过设备仪表实时监控运行参数，如压力、速度、温度等。

b.定期检查设备外观，观察有无异常磨损或损坏。

c.利用听诊器检查设备内部是否有异常噪音。

d.定期检查电气系统，确保无短路、断路等问题。

e.对液压系统和冷却系统进行定期维护和检查，确保系统清洁和正常运行。

f.操作人员需具备一定的故障判断能力，能在发现异常时及时采取措施。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.检查设备运行是否平稳，有无异常振动和噪音。

b.监测设备关键部件的温度，确保不超过设计温度。

c.定期检查设备润滑情况，确保各润滑点润滑充分。

d.检查设备电气系统是否稳定，电压波动在允许范围内。

e.观察液压系统压力是否稳定，无泄漏现象。

f.测试冷却系统效果，确保冷却液循环正常。

2.调整方法：

a.根据设备运行参数和工艺要求，调整设备速度、压力、温度等参数。

b.调整设备位置，确保掩膜版放置准确。

c.检查并调整传动带张紧度，避免打滑。

d.校准设备传感器，确保数据准确。

e.更换磨损的部件，如轴承、齿轮等。

3.不同工