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掩膜版制造工岗位职业健康及安全操作规程

文件名称：掩膜版制造工岗位职业健康及安全操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于掩膜版制造过程中所有岗位的操作人员。旨在确保操作人员的安全与健康，预防事故发生，提高工作效率，保障产品质量。通过规范操作流程，提高员工安全意识，降低职业危害，实现安全生产。

二、操作前的准备

1.劳动防护用品：操作人员需穿戴符合国家安全标准的防护服、防护手套、防护眼镜、防尘口罩等，根据不同工序可能还需佩戴耳塞、防化学品溅射的面罩等。确保所有防护用品完好无损，定期更换。

2.设备检查：操作前必须对所使用的设备进行彻底检查，包括但不限于机械状态、电气系统、液压系统、冷却系统等，确保设备处于良好工作状态。如有异常，应立即停止使用并报告相关部门。

3.环境要求：工作场所应保持通风良好，温度、湿度适宜，避免有害气体和粉尘超标。定期检测空气质量，确保符合国家职业卫生标准。

4.工作区域清洁：操作前应清理工作区域，清除杂物和废料，保持地面干燥，防止滑倒。对设备进行清洁，确保无油污、无异物。

5.操作指导：操作人员需熟悉操作规程，掌握设备性能和操作方法，必要时接受专业培训。操作过程中，应严格按照规程执行，不得擅自更改。

6.安全警示：操作区域应设置明显的安全警示标志，提醒操作人员注意安全。如有必要，设置专人进行现场监督。

7.个人准备：操作人员应保持良好的身体状况，穿着合适的服装，不得佩戴可能影响操作的饰品，如项链、戒指等。

8.紧急预案：熟悉应急预案，了解紧急情况下如何疏散和自救，确保在紧急情况下能够迅速采取行动。

三、操作步骤

1.设备启动：首先，打开设备电源，按照设备操作手册的指示进行预热，确保设备达到工作温度。

2.设备校准：启动设备后，进行必要的校准操作，包括对对准系统、曝光系统等进行调整，确保精度和稳定性。

3.物料准备：将掩膜版放置在设备指定位置，确保其平整、无污渍。检查物料是否符合规格要求。

4.曝光操作：根据工艺要求设置曝光参数，包括曝光时间、功率等，然后启动曝光系统进行曝光。操作过程中，注意观察曝光状态，确保曝光均匀。

5.显影处理：曝光完成后，按照工艺流程进行显影处理，去除未曝光的感光胶。注意控制显影时间，避免过度显影或显影不足。

6.定位与检查：显影后，对掩膜版进行定位检查，确保图案准确无误。如有偏差，进行微调直至符合要求。

7.干燥与储存：定位检查无误后，将掩膜版进行干燥处理，避免残留水分影响后续工艺。干燥后，按照规定储存，防止污染和损坏。

8.设备关闭：操作完成后，关闭曝光系统和其他辅助设备，断开电源，清理工作区域，确保设备处于安全状态。

9.数据记录：详细记录操作过程中的所有参数和结果，包括设备状态、物料信息、操作时间等，以便后续分析和追溯。

10.检查与报告：操作完成后，对掩膜版进行质量检查，确保其符合设计要求。如有问题，及时报告并采取措施解决。

四、设备状态

1.良好状态：

-设备运行平稳，无异常噪音或震动。

-电气系统稳定，无短路或漏电现象。

-机械部件运行顺畅，无卡滞或磨损迹象。

-温度控制系统正常，工作温度在规定范围内。

-曝光系统亮度均匀，无暗区或亮斑。

-显影系统工作正常，显影效果一致。

-设备表面清洁，无油污、灰尘或异物。

-安全防护装置齐全有效，操作界面显示正常。

2.异常状态：

-设备出现异常噪音或震动，可能存在机械部件磨损或松动。

-电气系统有异味、过热或短路现象，需立即停止使用并检查。

-机械部件卡滞或磨损，可能影响操作精度或设备运行。

-温度控制系统失灵，可能导致设备过热或冷却不足。

-曝光系统亮度不均，可能存在光源故障或光学系统污染。

-显影系统显影效果不稳定，可能存在显影液变质或显影条件不当。

-设备表面有油污、灰尘或异物，可能影响设备性能或操作安全。

-安全防护装置失效或缺失，可能导致操作人员受伤。

发现设备异常状态时，应立即停止操作，隔离设备，通知维修人员进行检查和维修。在设备恢复正常前，不得继续使用。

五、测试与调整

1.测试方法：

-对设备进行功能测试，包括曝光系统、显影系统、温度控制系统等，确保各系统运行正常。

-使用测试掩膜版，通过曝光和显影后的效果，检查图案的准确性和一致性。

-利用光学显微镜或自动检测设备，对掩膜版上的图案进行尺寸和形状的精确测量。

-检查设备运行中的温度、湿度等环境参数，确保符合工艺要求。

-对电气系统进行绝缘电阻测试，确保安全无隐患。

2.调整程序：

-根据测试结果，对曝光时间、功