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2025至2030光刻胶国产化技术突破与晶圆厂认证进度研究报告.docx

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    2025至2030光刻胶国产化技术突破与晶圆厂认证进度研究报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、光刻胶国产化行业现状分析 3

    1、全球及中国光刻胶市场格局 3

    国际光刻胶巨头市场份额与技术垄断现状 3

    中国光刻胶自给率与进口依赖度数据分析 5

    2、国产光刻胶发展历程与当前产业化水平 6

    从g/i线到KrF/ArF光刻胶的技术演进路径 6

    国内主要企业产能布局与产品成熟度评估 7

    二、关键技术突破路径与研发进展 9

    1、高端光刻胶核心技术瓶颈与攻关方向 9

    树脂单体纯化、光敏剂合成与配方体系优化 9

    浸没式及EUV光

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