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CN120127032A 一种半导体器件清洗设备及其清洗工艺 （中科光智(重庆)科技有限公司）.docxVIP

CN120127032A 一种半导体器件清洗设备及其清洗工艺 （中科光智(重庆)科技有限公司）.docx

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    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN120127032A(43)申请公布日2025.06.10

    (21)申请号202510575186.1

    (22)申请日2025.05.06

    (71)申请人中科光智(重庆)科技有限公司

    地址400712重庆市北碚区歇马镇歇马街

    688号(重庆高新区歇马拓展园)

    (72)发明人田鹏康冯财源刘星

    (74)专利代理机构重庆千石专利代理事务所(普通合伙)50259

    专利代理师于明

    (51)Int.CI.

    HO1L21/6

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