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对于设备选型环节,我们建立了完整的评估体系。在为北京北方华创微电子装备基地项目进行设备招标时,我们制定了包含28项技术指标的评分标准。其中,核心指标包括:输送速度(要求≥1.5m/s)、定位精度(±0.5mm以内)、噪音控制(≤65dB)、能耗指标(每米输送功耗≤0.8kWh)。经过对全球8家主要供应商的严格评估,最终日本大福的CleanVert5000系列以总分92.3分中标,其综合性能比第二名德国Dürr的CVC3000系列高出8.7个百分点。特别值得一提的是,该系统在实际运行中实现了99.997%的输送准确率,远超合同约定的99.9%标准。
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