第六章压电传感器.pptVIP

第1页，共25页，星期日，2025年，2月5日§6-1压电式传感器工作原理一，压电效应顺压电效应：某些电介质：施力→变形→内部极化两表面产生电荷；去力→恢复→两表面不带电。逆压电效应（电致伸缩效应）：而且，晶体受力后产生的电荷量与外力的大小成正比。施加电场→变形具有压电效应的材料，称为压电材料。第2页，共25页，星期日，2025年，2月5日（一）石英晶体（SiO2）天然石英晶体结构外形→正六面体图6-1a)水晶光轴电轴机械轴（力轴）第3页，共25页，星期日，2025年，2月5日是晶体的对称轴，光线沿Z轴通过晶体不产生双折射现象，因而其贡献是作为基准线。Z轴——光轴（中性轴）X轴——电轴该轴压电效应最显著。它通过两相对棱线且垂直于Z轴。X轴有三个。Y轴——机械轴（力轴）在此轴上加力产生的变形最大。其垂直于两相对的棱面。Y轴有三个。xxxylh沿轴线切片yy第4页，共25页，星期日，2025年，2月5日一般用数字的下标表示压电晶体的平面或受力方向。即：1，2，3分别表示x,，y，,z4，5，6分别表示x,，y，,z三个轴向切向作用。引入压电系数，diji___在i方向上得到电荷；j___在j方向受力。平行x向受力(Fx)，则在电轴所在的表面上产生电荷量为：纵向压电效应：结论当晶片受到x向压力时，qxx与作用力Fx成正比，而且与晶片的几何尺寸无关。压电系数：xFxFx＋＋＋＋＋－－－－－－第5页，共25页，星期日，2025年，2月5日当作用力沿机械轴y-y方向时,其电荷量仍在与xx轴垂直的平面出现，将这种压电效应称为：“横向压电效应”：晶片长宽比沿光轴z-z：FZ不产生压电效应。横向压电效应与尺寸有关，比值越大，灵敏度越高。x－－－－－－Fy＋＋＋＋＋Fy根据石英晶体的对称条件：当晶片受到y向压力时，qxy与作用力Fy成正比，而且与晶片的几何尺寸有关。结论第6页，共25页，星期日，2025年，2月5日（二）压电陶瓷——人工制造的多晶压电材料极化处理：在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，使极性轴转到接近电场的方向，这个方向就是极化方向（Z轴）。图6-6b)压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。人工：压电陶瓷本身并非压电体，通过人工“极化”处理后成为压电体。特点：压电陶瓷的压电系数是石英晶体的几百倍。未极化前极化后第7页，共25页，星期日，2025年，2月5日1），当受陶瓷沿极化方向（Z轴）作用力时：──压电陶瓷纵向压电常数。可以为石英晶体的几百倍。2），当受垂直于极化方向（X轴或Y轴）作用力时，由于垂直面各向同性，下标（1，2）可以互换。即：Ax－极化面面积Ay－受力面的面积xyzFF+++++++++－－－－－－xyzFF+++++++++－－－－－－第8页，共25页，星期日，2025年，2月5日比较：石英晶体：在稳定性方面至今无与伦比，常作标准传感器或者精度要求很高的传感器。压电陶瓷：压电系数可为石英晶体的几十──几百倍，价格便宜。目前使用最普遍。第9页，共25页，星期日，2025年，2月5日§6-2压电材料和它的主要特性压电材料的主要特性包括：（1）压电常数d：产生电荷与作用力之间的关系；（2）刚度：刚度是指物体在外力作用下，抵抗变形的能力。刚度越高，物体表现的越“硬”。压电材料的刚度影响压电材料的固有频率；（3）介电常数：决定压电常数的固有电容。电容增加，频率降低；（4）电阻：压电材料通常具有较高的内阻，有利于减少电荷泄漏，改善低频响应；（5）居里点：居里温度是指材料可以在铁磁体和顺磁体之间改变的温度。低于居里温度时该物质成为铁磁体，此时和材料有关的磁场很难改变。当温度高于居里温度时,该物质成为顺磁体，磁体的磁场很容易随周围磁场的改变而改变。在居里点温度时，压电材料的压电性能破坏。第10页，共25页，星期日，2025年，2月5日§6-3压电元件常用的结构形式在压电传感器中，常采用两片或两片以上的压电材料组合在一起使用。连接方式：并联和串连并联：串联：输出电荷量大，本身电容量也大，所以时间常数较大。输出电压高，自身电容小，适用于以电压作为输出量，以及测量电路输入阻抗很高的场合。特点特点第11页，共25页，星期日，2025年，2月5日一、压电式传感器的等效电路§6-4测量电