FR-WI-05-29 镀铜菲林ITO蚀刻液新产品评估作业指导书 A01 .docVIP

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深圳XXX新材料股份有限公司

惠州市XXX实业有限公司

惠州市XX实业有限公司

文件编号：FR-WI-05-29

版本号：A/01

文件密级：秘密

文件名称

镀铜菲林ITO蚀刻液新产品评估作业指导书

页码：第PAGE1页共NUMPAGES\*Arabic2页

部门会签（请根据文件内容填写涉及到的部门或科）

部门

人力资源部

采购部

工程中心

生产及设备科

签名

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部门

计划及储运科

品质部

市场部

安全部

签名

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修改履历

版次

生效日期

修改说明

A/00

2016.02.20

新增加文件

A/01

2025.06.13

文件模版更新

编写

审核

批准

签名

日期

1.目的：

规范镀铜菲林ITO蚀刻液新产品的评估方法，确保新产品能够满足客户要求。

2.范围：

适用于深圳飞世尔新材料股份有限公司及其子公司镀铜菲林ITO蚀刻液的新产品评估。

3.职责：

3.1.表面处理技术研究室：负责镀铜菲林ITO蚀刻液新产品评估项目、评估方法标准和各项目性能测试；

3.2.客户部：负责对要定型的镀铜菲林ITO蚀刻液新产品按照文件进行验证复测。

4.评估内容：

序号

评估项目

性能指标

1

外观

澄清透明液体（不分层、无悬浮物或沉淀）

2

气味

无异味

3

存储稳定性

稳定

4

蚀刻ITO的效果

10%的设计线宽误差

5

蚀刻ITO的速度

45℃条件下，蚀刻时间小于60秒

6

对铜菲林上干膜的影响

45℃条件下，5min内干膜无脱落

5.评估方法：

除非另有说明，在分析中使用的水为蒸馏水或去离子水。

5.1.外观：

取200克样品，置于干燥洁净的透明玻璃器皿内，在常温、非直射光条件下进行观察，样品外观若澄清透明（不分层、无悬浮物或沉淀）即可判定外观符合要求；

5.2.气味：

取500g新样品，选取三个人员通过感官检验，判断其气味的大小，样品若气味不大于FisherSK-7A即可判定气味符合要求；

5.3.稳定性：

用干净的250mL烧杯称取100克样品两份，用保鲜膜密封好。分别置于（0-5℃）的冰箱和（50±5℃）的水浴锅中4H后取出，观察取出后的样品状态。样品若无沉淀和变色现象，即可判定气味符合要求；

5.4.蚀刻ITO的效果：

在干净的250mL烧杯中放入适量ITO蚀刻液样品，恒温在45℃，放入待蚀刻ITO样品，打开磁力搅拌器，分别测试40-60秒内ITO蚀刻的效果，用金相显微镜观察，测量线距及笔直情况，误差值为线宽在设计线宽的10%，测试三次取其平均值，标准范围内判定合格。

检测标准：线距/线宽在设计的10%误差范围内，且线路笔直，即可判定蚀刻ITO效果符合要求。5.5.蚀刻ITO的速度：

在干净的250mL烧杯中放入适量ITO蚀刻液样品，恒温在45℃，放入待蚀刻ITO样品，打开磁力搅拌器，分别测试40-60秒内ITO蚀刻的效果，用万用电表进行测量，相邻两条线路电阻值为0，则表示ITO已经完全蚀刻干净。测试三次取其平均值，标准范围内判定合格。

检测标准：相邻两条ITO导线测试电阻值为零，即可判定蚀刻ITO速度符合要求。

5.6.对菲林上干膜的影响：

在干净的250mL烧杯中放入适量ITO蚀刻液样品，恒温在45℃，放入待蚀刻ITO样品，打开磁力搅拌器，测试5分钟内干膜的变化情况，用金相显微镜观察，观察干膜有无脱落的情况，测试三次取其平均值。

检测标准：45℃条件下，浸泡5min内干膜无脱落即可判定合格。

注意事项：

如果客户有特殊要求，可以对评估项目和指标进行调整，以客户要求为准；

7.相关文件：

《产品研发控制程序》FR-QP-16

8.记录：

《镀铜菲林ITO蚀刻液新产品评估性能测试表》FR-QR-05-09