石英压电晶体谐振式力学传感器.pdfVIP

JournalofSensorTechnologyandApplication传感器技术与应用,2025,13(3),551-559

PublishedOnlineMay2025inHans./journal/jsta

/10.12677/jsta.2025.133054

石英压电晶体谐振式力学传感器

1*1,21133111

巫晟逸，梁佳辉，刘秋实，丁岗寅，陈庆盈，付浩，王溪溪，熊宣明，徐俊俊，

21

王骥，赵岷江

1台晶(宁波)电子有限公司，浙江宁波

2宁波大学机械工程与力学学院，压电器件技术实验室，浙江宁波

3中国科学院宁波材料技术与工程研究所，先进制造技术研究所，浙江宁波

收稿日期：2025年4月24日；录用日期：2025年5月21日；发布日期：2025年5月28日

摘要

成功以方型石英谐振式晶体作为力学传感器敏感单元芯片，使用金属封装结构进行环境隔离，验证并提

高其精度、灵敏度、线性、重复性與降低迟滞等特性；在可靠度方面，也验证了环境温湿度、气密性、

力学疲劳、掉落与振动等可靠度与稳定性，可大量应用于机器人、新能源车、航天航空与智能制造等产

业。

关键词

石英压电晶体，谐振式，力学传感器，可靠度

QuartzCrystalPiezoelectricResonantForce

Sensors

1*1,21133

ChengyiWu,JiahuiLiang,QiushiLiu,GangyinDing,ChinyinChen,HaoFu,

XixiWang11121

,SamsonXiong,JunjunXu,JiWang,MinchiangChao

1TXC(Ningbo)Corporation,NingboZhejiang

2PiezoelectricDeviceLaboratory,SchoolofMechanicalEngineeringMechanics,NingboUniversity,Ningbo

Zhejiang

3InstituteofAdvancedManufacturingTechnology,NingboInstituteofMaterialTechnologyand

Engineering,NingboZhejiang

thstth

Received:Apr.24,2025;accepted:May21,2025;published:May28,2025

Abstract

Successfullyusedthesquarequartzresonantcrystalasthesensorheadchipoftheforcesensors.

*通讯作者。

文章引用:巫晟逸,梁佳辉,刘秋实,丁岗寅,陈庆盈,付浩,王溪溪,熊宣明,徐俊俊,王骥,赵岷江.石英压电晶体

谐振式力学传感器[J].传感器技术与应用,2025,13(3):551-559.DOI:10.12677/jsta.2025.133054

巫晟逸等

Usingametalpackagestructureforenvironment