表面化学分析 深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度的测量方法.pdfVIP

表面化学分析深度剖析AES和XPS深度剖析时离子束对准方

法及其束流或束流密度的测量方法

1范围

本文件规定了在俄歇电子能谱（AES）和X射线光电子能谱（XPS）中使用惰性气体离子时，

离子束对中的方法，以确保溅射深度剖析中的良好深度分辨和表面的最佳清洁。这些方法有两

类：一类是用法拉第杯测量离子电流；另一类是成像方法。法拉第杯法还规定了离子束流密度

和束流分布的测量。这些方法适用于束斑直径小于或等于1mm的离子枪。这些方法不包括深度

分辨优化。

2规范性引用文件

以下文件在本文中被引用的部分或全部内容适用本文件。对于注明日期的引用文件，仅引

用的版本适用。对于未注明日期的引用文件，其最新版本（包括任何修订版）适用。

ISO18115-1,Surfacechemicalanalysis—Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedin

spectroscopy

GB/T22461-1（ibdISO18115-1）表面化学分析词汇通用术语及谱学术语（待发

布）

3术语、定义、符号和缩略语

GB/T22461-1（ibdISO18115-1）中给出的术语和定义适用于本文件。

ISO和IEC在以下地址中用于标准化的更新术语数据库：

—ISOOnlinebrowsingplatform:

—IECElectropedia:

下列符号和缩略语适用于本文件。

AAreaofFaradaycupaperture

法拉第杯孔面积

ARRasterareaataknown

orientationtotheionbeam沿

离子束已知方向的栅格扫描

A0Areaofionbeamrasterin

sampleplane在样品面内离子

束栅格扫描面积

AESAugerelectronspectroscopy俄

歇电子能谱

BIonbeambroadeningparameter

equaltoratioIouter/Iinner比值为

Iouter/Iinner的离子束展宽的参数

CCurrent束流

CDCurrentdensity束流密度

D′Iondoserateatthesample样

品上离子剂量率

F′Ionfluenceratedeliveredbyion

gun离子枪的流量速率

FCFaradaycup法拉第杯

FWHMFullwidthatthehalfmaximum

半高全宽