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自反馈技术在高精度静压支承单元中的应用与性能分析

目录

文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.1.1静压支承技术发展概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.1.2高精度控制需求分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

1.2自反馈技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11

1.2.1自反馈基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.2.2自反馈控制方法分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

1.3本文研究目标与内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

1.3.1主要研究目的．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

1.3.2论文结构安排．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

高精度静压支承单元理论分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24

2.1静压支承基本工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25

2.1.1负载平衡机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．27

2.1.2压力流量特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29

2.2关键性能指标界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．30

2.2.1定位精度分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．32

2.2.2静态刚度评价．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34

2.3传统静压支承控制面临的挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36

2.3.1环境扰动影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39

2.3.2零件制造误差累积．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40

自反馈技术在静压支承中的应用设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．43

3.1应用方案构思．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45

3.1.1系统总体架构．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47

3.1.2自监控模块集成位置．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49

3.2自反馈信号获取途径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50

3.2.1静态参数监测通道．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53

3.2.2运行状态信息采集方案．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54

3.3控制策略融合设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55

3.3.1反馈信息在线辨识方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59

3.3.2静压控制律智能修正．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60

自反馈静压支承单元性能仿真研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62

4.1仿真模型建立．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63

4.1.1系统物理参数数字化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66

4.1.2控制算法MATLAB/Simulink实现．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．68

4.2基础性能仿真验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71

4.2.1静态特性对比分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．72

4.2.2响应特性测试仿真．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73

4.3抗干扰能力仿真评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．