2025年大学《化学测量学与技术》专业题库—— 半导体质传感器技术在化学测量中的应用及原理解析.docxVIP

2025年大学《化学测量学与技术》专业题库——半导体质传感器技术在化学测量中的应用及原理解析

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、

简述金属氧化物半导体（MOS）质传感器的核心工作原理，并说明其灵敏度受哪些主要因素影响。

二、

区别量子电容式半导体质传感器和基于表面声波（SAW）的质传感器在基本工作原理、主要优缺点及典型应用方面的差异。

三、

分析半导体质传感器在实际化学测量应用中面临的主要挑战（如选择性差、易漂移、环境干扰等），并针对其中至少两点，分别提出可行的解决方案或应对策略。

四、

以监测环境中的甲醛气体为例，阐述选用何种类型的半导体质传感器可能更合适，并说明选择该类型传感器的关键原因。

五、

某研究团队开发了一种新型纳米复合材料的半导体质传感器，用于检测乙醇气体。请设想该传感器可能具有哪些优于传统金属氧化物半导体传感器的性能特点，并解释其潜在的优势机理。

六、

结合化学测量的基本要求，论述评价一款半导体质传感器性能时，除了灵敏度之外，还应考虑哪些关键指标，并说明这些指标对实际测量意义何在。

试卷答案

一、

核心工作原理：金属氧化物半导体质传感器基于半导体材料与待测气体分子发生物理或化学作用（如吸附、化学反应、离子化等），导致半导体材料的电学性质（如电阻、电容、表面电位等）发生显著变化。通过测量这种电学性质的变化，可以间接测量待测气体的浓度。具体机制可能涉及气体分子在半导体表面吸附导致表面能带弯曲、表面态的形成与变化、离子izable气体分子的电离等。

影响灵敏度的主要因素：(1)半导体材料本身的性质（如能带结构、表面活性）；(2)气体分子的性质（如吸附能、电负性）；(3)传感器的工作条件（如温度、湿度）；(4)传感器的结构设计（如活性层厚度、电极面积）；(5)后续电路的放大倍数等。

二、

差异分析：

工作原理：量子电容式质传感器基于气体分子吸附/脱附在半导体表面引起表面电荷变化，从而改变半导体的表面电容。SAW质传感器则利用压电材料（如石英）在受到交变电场激励产生表面声波，气体分子吸附在声波传播路径上的传感器表面会引起声波速度或振幅的变化，通过检测这种变化来测量气体。

主要优点与缺点：

*量子电容式：优点是结构相对简单、可能对特定气体有较高选择性（依赖表面相互作用）；缺点是灵敏度通常不如电阻式、易受电解质溶液和湿度影响、响应时间可能较长。

*SAW：优点是速度快、可靠性高、抗干扰能力强、可集成化、适合多通道检测；缺点是器件成本相对较高、对微小的吸附层厚度变化可能不够敏感、需要专门的声波发生和检测电路。

典型应用：量子电容式多用于气体泄漏检测、环境监测；SAW多用于高灵敏度气体检测、生物传感、化学计量学等要求快速响应和稳定性的场合。

选择原因：根据应用需求选择。例如，若需快速、稳定、多路检测，SAW可能更优；若对成本敏感，且能容忍较慢响应，量子电容式可能更合适。

三、

主要挑战与解决方案：

挑战1：选择性差（交叉敏感性）

*解决方案：(1)材料设计：选择对目标气体吸附热或表面相互作用有高度特异性的半导体材料；(2)结构设计：采用多层结构、掺杂、修饰表面等方法，改变材料的表面化学状态和能带结构，提高选择性；(3)信号处理：利用锁相放大、傅里叶变换等技术，滤除干扰气体的信号；(4)温度控制：通过精确控温，利用不同气体吸附热的不同来提高选择性。

挑战2：易漂移（稳定性差）

*解决方案：(1)材料选择：选用化学性质稳定、抗老化能力强的半导体材料；(2)结构优化：设计稳定的器件结构，避免活性层与外界环境直接接触或反应；(3)传感器封装：采用优良的保护性封装技术，隔绝水汽、氧气等有害环境因素；(4)电路补偿：设计自动温度补偿（ATC）、湿度补偿等电路；(5)定期标定：建立定期校准程序，校正传感器漂移。

四、

合适类型：氧化锡（SnO?）等金属氧化物半导体传感器通常对中等浓度（ppm级）的挥发性有机物（VOCs）如甲醛具有良好的检测性能。

选择原因：(1)灵敏度高：SnO?等材料对含碳有机气体如甲醛的吸附-脱附过程伴随着明显的电阻变化，通常具有较高的灵敏度；(2)成本相对较低：基于硅或氧化物的MOS传感器制作工艺成熟，成本较低，易于大规模生产和应用；(3)技术成熟：基于MOS传感器的甲醛检测技术研究与应用较为广泛，有较成熟的检测方法和经验；(4)响应适中：对于室内空气甲醛监测，MOS传感器的响应时间可以满足实时监测的需求。

五、

潜在性能特点与机理：

性能特点：(1)更高的灵敏度：通过纳米化（增大比表面积）和复合材料化（利用不同材料的协同效应，如导电网络、催化活性位点），可能显著提高对乙醇