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;目录;;;;;;;(二)根据标准,平面相移干涉仪有哪些分类方式?不同类别适用场景有何差异?;;;要求光学系统分辨率符合对应测量范围,成像清晰无畸变,波长稳定性达标,杂散光控制在规定范围内,确保光学信号准确,为测量精度提供基础。;(二)针对仪器的电气系统,标准有哪些具体要求?如何检测是否达标?;;;;;;;;;;;;半导体、航空航天、精密光学领域需求将显著增长。这些领域对零件精度要求高,标准实施后仪器质量提升,能更好满足其检测需求,推动需求增长。;;;企业在理解标准中的技术参数指标时,容易产生哪些疑点?专家如何解答?;;(三)在标准实施过程中
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