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硅炭负极材料化学气相沉积法制备工艺与性能分析
目录
内容概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1.1锂离子电池发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.1.2硅炭负极材料的优势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.1.3化学气相沉积法应用的潜力．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.2国内外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2.1硅炭负极材料制备技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.2.2化学气相沉积法研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18
1.2.3性能优化及．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
1.3.2预期研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
1.4.1实验方法概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
1.4.2技术路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
硅炭负极材料化学气相沉积法制备工艺．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
2.1化学气相沉积法原理及分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.1.1化学气相沉积法基本原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
2.1.2常见化学气相沉积法分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．38
2.2硅炭负极材料的组成与结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．40
2.2.1硅基材料的选取与．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.2.2炭层的形成机理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
2.2.3微结构调控策略．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
2.3化学气相沉积法关键工艺参数．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．47
2.4工艺优化与制备条件确定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
2.4.1正交实验设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
2.4.2工艺参数的优化结果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．54
2.4.3最佳制备条件确定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
硅炭负极材料微观结构表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．65
3.1物理结构表征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
3.1.1粉末样品的形貌观察．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
3.1.2晶体结构分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
3.1.3孔径结构与比表面积测定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．74
3.2化学成分分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
3.2.1元素组成分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
3.2.2硅碳元素价态分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．78
3.3微区结构及化学态分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．80
3.3.1X射线光电子能谱分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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