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第42卷第4期算机仿真2025年4月
文章编号：1006-9348（2025)04-0545-07
双通道MEMS陀螺仪精密频率估计研究
张金鹏，王鲁,魏琦？，郑少凯
（1.山东农业大学信息科学与工程学院，山东泰安271018；
2.清华大学精密仪器系导航技术工程中心，北京100084）
摘要：MEMS频率调制（FrequencyModulation，FM）陀螺仪凭借其高比例因子稳定性和温度鲁棒性优势，成为MEMS惯性传
感器领域的研究热点之一。FM陀螺仪的工作原理决定其角速率测量精度与实时频率读出分辨率直接相关，传统的测控方
案无法满足该模式角速率解算环节对频率分辨率的要求，频率估计分辨率成为制约FM陀螺仪测量精度的首要问题。针对
FM陀螺仪测控系统中频率估计分辨率低的问题，以现场可编程逻辑门阵列（FPGA）为控制核心，采用改进的时钟沿计数方
法，通过S-G滤波的方式对频率信息进行综合输出，降低高频噪声干扰。针对陀螺仪6.5kHz的信号频率，在400Hz更新率
下相对分辨率达到，相较于传统同步周期的测频方法提高了3.5倍，满足FM陀螺仪对带宽和频率分辨率的要求。
关键词：陀螺仪；频率估计；滤波
中图分类号：TP301.6文献标识码：B
ResearchonPrecisionFrequencyEstimation
ofDual-ChannelMEMSGyroscope
ZHANGJin-peng,WANGLu,WEIQi?,ZHENGShao-kai1
(1.CollegeofInformationScienceandEngineering,ShandongAgriculturalUniversity,
TaianShandong271018,China;
2.NavigationTechnologyEngineeringCenter,DepartmentofPrecisionInstruments,
TsinghuaUniversity,Beijing100084,China)
ABSTRACT:MEMSfrequencymodulation(FM)gyroscopehasbecomeoneoftheresearchhotspotsinthefieldof
MEMSinertialsensorsduetoitshighscalingfactorstabilityandtemperaturerobustness.TheworkingprincipleofFM
gyroscopedeterminesthatitsangularratemeasurementaccuracyisdirectlyrelatedtothereal-timefrequencyreadout
resolution,andthetraditionalmeasurementandcontrolschemecannotmeetthefrequencyresolutionrequirementsof
theangularratesolvinglinkofthismode,andthefrequencyestimationresolutionhasbecometheprimaryproblemre-
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