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虚拟仿真技术在光刻技术中的应用
目录
文档综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7
1.1.1微电子产业发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.1.2光刻技术的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.1.3虚拟仿真技术发展趋势．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
1.2.1国外研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.2.2国内研究进展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19
1.2.3研究差距与挑战．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22
1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．24
1.3.2研究目标设定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
1.4.1研究方法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
1.4.2技术路线图．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．36
虚拟仿真技术概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
2.1虚拟仿真技术定义与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．41
2.1.1虚拟仿真的概念界定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.1.2虚拟仿真的核心特征．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．44
2.2虚拟仿真关键技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
2.2.1建模与仿真技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．48
2.2.2图形学与可视化技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．50
2.2.3网络与并行计算技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．52
2.3虚拟仿真平台构建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
2.3.1硬件平台搭建．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
2.3.2软件平台选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．61
2.4虚拟仿真应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64
2.4.1微电子制造．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．64
2.4.2材料科学．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
2.4.3生物医学工程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．69
光刻技术原理与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．70
3.1光刻工艺流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
3.1.1光刻胶涂覆与曝光．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．75
3.1.2显影与刻蚀．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．77
3.1.3清洗与检测．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．79
3.2光刻技术分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
3.2.1掩模光刻．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．
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