纳米催化材料与电化学应用 课件 第二章纳米催化材料的表.pptx

纳米催化材料的合成方法;化学合成方法;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;10、电解法;11、气相法;;;12、辐射化学合成法;物理合成方法;;一.气相法;;;1.气体冷凝法;2.溅射法;;

直流溅射又称阴极溅射或二极溅射。其溅射条件为工作气压10Pa，溅射电压3000V，靶电流密度0.5mA/cm2，薄膜沉积速率低于0.1m/min。直流溅射是先让惰性气体（通常为Ar气）产生辉光放电现象产生带电的离子；带电离子紧电场加速撞击靶材表面，使靶材原子被轰击而飞出来，同时产生二次电子，再次撞击气体原子从而形成更多的带电离子；靶材原子携带着足够的动能到达被镀物（衬底）的表面进