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半导体前道量检测设备行业市场分析
1、量检测设备是芯片良率的关键保障
根据不同工序,半导体检测分为前道量检测、后道检测及验室检测,
其中,前道量检测主要应用于晶圆加工环节,目前以厂内产线在线监
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试,目前主要分为第三方测试和厂内产线在线监控;验室检测主要
针对失效样品进行缺陷定位和故障分析,目前主要分为第三方
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