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半导体零部件之阀门行业市场分析

1、真空阀:真空系统核心零部件,瑞士VAT主导市场

1.1、真空阀:真空系统核心零部件,主要起隔离/控制/传输作用

真空的俗定义指的是空间中的压力低于标准大气压力时的状态。真

空阀指的是用在真空系统中的阀门,其作用常为隔离真空区域(如

工艺腔室)或控制气体进出量。由于真空环境基本贯穿半导体制造过

程始终,因此真空阀在半导体设备中也有着普遍而广泛的应用。真空

阀和普阀门在类型上没有本质区别,按作用划分主要有隔

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