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半导体设备行业市场分析
1零部件是半导体设备关键支撑，市场空间近600亿美元
零部件是半导体设备行业的支撑，是“卡脖子”环节
半导体行业循一“代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，而半
导体设备的升级迭代，在很大程度上有赖于精密零部件的关键技术突
破。精密零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较
高的环节之一，也是国内半导体设备卡“脖子”的环节之一，也支撑着
整个半导体芯片制造和现代电子信息产业。
半导体零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等
特性，
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