基于扭转石墨烯的室温低功耗中红外探测器.pdfVIP

摘要

中红外（MIR）电磁波，通常指波长范围在2至25µm的电磁波，包含了

3~5µm、8~14µm的低衰减大气透射窗口，在遥感成像、红外通讯及生物分子

医疗等领域具有重要的意义。与可见光及近红外波段相比，中红外波段光子能

量较小，基于传统半导体光敏材料的光子型探测器因较大的暗电流导致性能衰

减无法满足中红外波段的要求。二维材料由于其电子在垂直于平面的方向上受

到量子限制效应，往往在导带和价带边缘出现态密度峰值，形成独特的能带结

构。这些具有奇异性的能带结构在红外波段展现出了前所未有的潜力。

石墨烯是最广为人知的一种二维材料，具有优异的光电性能，独特的零带

隙能带结构使石墨烯能够实现从可见光到太赫兹的宽光谱吸收。但是由于泡利

阻塞效应，单层石墨烯对中红外波段的光子吸收较弱。扭转石墨烯的出现为解

决这一问题提供了新的调控自由度方向，利用两层石墨烯的相对扭转形成莫尔

超晶格，范霍夫奇点位置随扭转角变化，控制其能量差与中红外光子能量相匹

配，从而调控中红外光吸收、为提升光电探测器性能提供了新的研究维度。

为了实现对中红外波段的优异探测，本文首先采用机械剥离法制备了薄层

石墨烯及六方氮化硼，通过拉曼光谱表征石墨烯，证明得到的石墨烯具有较少

的晶格缺陷；通过原子力显微镜测量了六方氮化硼的厚度，采用厚度约为40

nm的六方氮化硼用作器件的栅极介质和石墨烯的保护层。使用PVA辅助转移

的方法完成了扭转石墨烯的堆叠，在拉曼光谱检测中发现了其G带右侧的R′

峰，佐证了扭转石墨烯莫尔超晶格的出现，为实现扭转石墨烯在中红外的探测

提供了条件。

根据范霍夫奇点能量差与扭转角之间的关系，本文针对4μm波段设计了

器件结构，通过调控栅极电压对器件进行原位电掺杂，调节器件的费米能级及

载流子浓度。器件可以基于两种探测原理进行工作：基于零偏压光热电原理工

作时，器件在不均匀照射的作用下生成热电电压，功耗接近于零，实现了0.5s

的响应时间，当栅源电压为1.4V时，器件的响应度为0.373mA⋅W−1，比探

测率达到51/2-1；当器件基于辐射热效应工作时，需使红外波

1.09×10cm⋅Hz⋅W

均匀照射在器件上，同时施加100mV的源漏电压，此时器件功率约为8.5μW，

响应度约为61.9mA⋅W−1，比探测率测得为61/2-1，相对热电

9.6×10cm⋅Hz⋅W

模式比探测率提高了约88倍。通过增加外部结构，改变光斑照射的位置，可

将两种工作模式的不同特点相结合，同时发挥器件低功耗和高探测精度的特点，

当器件工作处在待机模式下，器件基于无偏压热电原理工作，几乎没有功耗；

当输出异常波动时，将器件完全暴露在红外辐射下，同时施加偏压，器件基于

辐射热原理提供更高精度的探测。这样的器件具有待机功耗低，使用寿命长的

特点，可以为野外气象灾害预警，森林火险监测提供帮助。

关键词:中红外探测；扭转石墨烯；光热电效应；辐射热效应；范霍夫奇点

μmband,andperformedin-situelectricaldopingonthedevicebyregulatingthe

gatevoltage.Thedevicecanbeoperatedontwodetectionprinciples,thephoto

thermoelectricprincipleandthebolometerelectricprinciple.Thedevice

generatesthermoelectricvoltageundertheactionofnon-uniformirradiation,and

thepowerconsumptionisclosetozero.Itsresponsetimeis0.5s.Whenthegate

sourcevoltageis1.4V,thedeviceachievesarespons