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多阀值CMOS技术优化
1§1B
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第一部分优化多阀值CMOS阈值电压分布2
第二部分探索新型沟道材料以降低阈值电压5
第三部分通过栅极程实现阈值电压的精细调控8
第四部分采用衬底偏压调节阈值电压11
第五部分利用应变程优化闭值电压和亚阈值摆幅14
第六部分优化沟道几何结构以改进阈值电压控制16
第七部分研究新型器件结构以实现多阀值功能18
第八部分探索三维集成技术以增强多阀值CMOS优化21
第一部分优化多阀值CMOS阈值电压分布
关键词关键要点
多阈值电压优化算法
1.介绍了基于梯度下降、遗传算法和模拟退火等启发式算
法的阈值电压优化方法，这些算法通过迭代更新阈值且压
以最小化目标函数。
2.讨论了多目标优化算法在同时考虑功耗、性能和可篦性
等多个目标时的好处。
3.分析了机器学习和神经网络在阈值电压优化中的潜在应
用，这些方法可以自动学习输入和输出之间的复杂关系。
特定艺节点的优化
1.探索了在不同艺节点（例如28nm、14nm和7nm）上
优化多阚值CMOS技术的特定方法。
2.分析了艺变化和器件特性随艺节点缩小而产生的影
响，并提出了针对这些影响的优化策略。
3.讨论了前沿艺技术（例如FinFET和GAAFET）中多
阈值电压优化的独特挑战和机会。
器件建模和仿真
1.介绍了用于多阈值CMOS器件建模和仿真的先进技术，
例如TCAD具和物理模型。
2.讨论了准确器件模型在优化阈值电压分布中的重要性，
并强调了模型参数提取和标定的方法。
3.探索了机器学习和数据驱动的建模技术在提高仿真效率
和准确性方面的应用。
可靠性和老化考虑
1.分析了多阈值CMOS器件在老化和可靠性方面的挑战，
例如偏差温度老化（BTI）和热载流子注入（HCI）o
2.提出优化阈值电压分布以增强可靠性的策略，例如使用
非对称阈值电压和宽阈值电压器件。
3.讨论了对老化机制监测和预测的建模和仿真方法，以便
及时调整阈值电压以维持可靠性。
高性能低功耗设计技术
1.介绍了多阈值CMOS技术在高性能和低功耗设计中的
应用，例如动态阚值电压调节D（TS）和多
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