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*第1页，共12页，星期日，2025年，2月5日参考书：《微电子器件物理基础》
1、施敏[美]著，《半导体器件物理与工艺》，苏州大学出版社，2002年。2、孟庆巨、刘海波、孟庆辉编著，《半导体器件物理》，科学出版社，2005年。3、刘树林、张华曹、柴常春编著，《半导体器件物理》，电子工业出版社，2006年。4、半导体物理与器件(美)D.A.Neamen赵毅强等译电子工业出版社5、半导体制造技术 MichaelQuirketal.电子工业出版社6、半导体器件基础(美)B.L.Anderson,R.L.Anderson,邓宁等译清华大学出版社7、微电子学概论张兴北京大学出版社8、固体物理 黄昆 高等教育出版社9、HandbookofSemiconductorFabricationTechnology
NewYork:MarcelDekker,c200010、半导体中的杂质深能级 A.G.米尔恩斯 科学出版社11、以及其他的papers、conferences、handouts*第2页，共12页，星期日，2025年，2月5日微电子发展史上的几个里程碑1962年Wanlass、C.T.Sah——CMOS技术现在集成电路产业中占95%以上1967年Kahng、S.Sze——非挥发存储器1968年Dennard——单晶体管DRAM1971年Intel公司微处理器——计算机的心脏目前全世界微机总量约6亿台，在美国每年由计算机完成的工作量超过4000亿人年工作量。美国欧特泰克公司认为：微处理器、宽频道连接和智能软件将是21世纪改变人类社会和经济的三大技术创新。*第3页，共12页，星期日，2025年，2月5日不断提高产品的性能价格比是微电子技术发展的动力集成电路芯片的集成度每三年提高4倍，而加工特征尺寸缩小倍，这就是摩尔定律微电子发展的规律*第4页，共12页，星期日，2025年，2月5日集成电路技术是近50年来发展最快的技术微电子技术的进步按此比率下降，小汽车价格不到1美分FromS.M.SZE*第5页，共12页，星期日，2025年，2月5日5000400030002000100001000200030004000石器时代~35000年铜器时代~1800年铁器时代~3200年硅器时代XX年？3000BC1200BC1968*第6页，共12页，星期日，2025年，2月5日我国年微电子发展展望上海IC产业发展战略目标到2010年总投资量600亿美元，建成20~40条生产线，200个设计公司及20家封装/测试厂带动上海700亿美元相关产业发展，成为第一大产业*第7页，共12页，星期日，2025年，2月5日我国年微电子发展展望上海中芯国际：14.76亿美元，8英寸，0.25微米，4.2万片/月上海宏力16.37亿美元，8英寸，0.25微米，4万片/月北京华夏半导体13亿美元，8英寸，0.25微米天津MotorolaMOS1714.75亿美元，8英寸，0.25微米，6000片/周*第8页，共12页，星期日，2025年，2月5日新的存储器NOR(NotORgate)FlashMemory闪存NAND(NotANDgate)FlashMemory闪存：韩国三星：2005年9月突破50nm工艺技术，制造出NAND闪存卡(16G，164亿个晶体管)，有可能取代硬盘，?(纳电子学)；中国朗科：0.18?m(180nm)工艺技术，优芯II号优盘，?(微电子学)。从180nm→90nm→50nm工艺技术，我们在技术上与别人比差两代。2006年集成电路线宽已经突破45nm。*第9页，共12页，星期日，2025年，2月5日
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