压电促动器赋能光刻物镜：纳米级精度控制的创新与应用.docx

压电促动器赋能光刻物镜：纳米级精度控制的创新与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，半导体制造作为信息技术产业的核心支撑，其重要性不言而喻。随着各行业对芯片性能要求的不断攀升，如追求高速、纳米级超小尺寸、低功耗以及低时延等特性，半导体制造工艺面临着前所未有的挑战。光刻技术作为半导体制造中的关键环节，直接决定了芯片的特征尺寸和性能。光刻物镜则是光刻机的核心部件，其精度控制对于光刻质量起着决定性作用。

压电促动器作为一种利用压电效应工作的精密驱动装置，在光刻物镜精度控制中扮演着关键角色。压电效应使得压电材料在受到电场作用时能够产生精确的微小位移，这种特性使得压电促动器