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哈尔滨工业大学专业学位硕士论文
摘要
单频激光干涉仪凭借其结构简单、易集成、精度高、测量结果可溯源、光源
可光纤传输等优点，在位移、振动等测量领域具有极为广泛的应用。对于单频激
光干涉仪来说，非线性误差是制约其精度提升的重要因素。基于海德曼校正算法
的主动校正补偿方法是当前应用较为广泛的一种非线性误差校正方法，利用该方
法进行校正时，要求目标位移量至少要达到激光波长的四分之一，这对于纳米及
亚纳米级的测量来说是很难达到的。
课题“面向单频
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