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2025至未来5年中国无机高纯气体市场数据分析及竞争策略研究报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u摘要 3
一、高纯气体纯化技术演进路径与核心工艺瓶颈剖析 5
1.1电子级无机气体纯化技术路线对比与效率边界分析 5
1.2杂质控制极限突破:从ppb到ppt级的技术实现机制 7
二、国产替代进程中的供应链韧性与安全阈值研究 9
2.1关键原材料与核心设备国产化率动态评估 9
2.2地缘政治扰动下气体供应中断风险建模 11
三、半导体先进制程驱动下的气体规格跃迁需求解析 13
3.13nm及以下节点对特种无机气体纯度与稳定性的新标
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