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不同微观组织Ti靶对TiN薄膜微观结构和性能的影响.pdf

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    《热加工3-艺》2017年12月第46卷第24期

    不同微观组织Ti靶对TiN薄膜

    微观结构和性能的影响

    穆健刚，梁俊才，王铁军，张凤戈，周武平，赵栋梁

    f1钢铁研究总院，北京100081：2．蚤泰科技股份有限公司，北京l00081)

    摘要：采JtJJ【U种M微观组织的钛，：¨·沉干j{条什卜

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