用于微执行器的PZT压电薄膜：制备工艺、性能表征与应用探索.docxVIP

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2025-11-13 发布于上海
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用于微执行器的PZT压电薄膜：制备工艺、性能表征与应用探索.docx

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用于微执行器的PZT压电薄膜：制备工艺、性能表征与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，微执行器作为微机电系统（MEMS）的关键组成部分，在诸多领域发挥着举足轻重的作用。从消费电子领域的智能手机振动马达，到生物医学领域的药物精准输送，再到航空航天领域的微型飞行器控制，微执行器以其微小的尺寸、卓越的性能，推动着这些领域的技术革新与进步。在消费电子领域，微执行器为智能手机带来了更加逼真的触觉反馈，提升了用户体验；在生物医学领域，它能够实现药物的精准输送，提高治疗效果；在航空航天领域，微执行器则助力微型飞行器实现更加灵活的控制，拓展了其应用范围。

PZT（锆钛酸铅）压电