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CoN薄膜的制备、微结构及电化学性能研究

摘要：我们生活中有很多领域都有薄膜的应用，薄膜技术发展到今天已经有很悠久的历史了，研

究薄膜的各种特性也是我们一直以来的问题。金属氮化物通常具有超硬、高熔点、化学惰性、高热导

性等优越性能，在很多领域都有着广泛的应用，但在制备薄膜的过程中一直参杂着很多的问题需要我

们解决和分析。本文在实验的基础上以CoN薄膜为例，阐述了薄膜的一些性质和制备要求。我在本

篇论文中采用化学溶液沉积法来制备此次实验所需要的样品，分析了退火温度，薄膜间的附着力和薄

膜层数对所制备薄膜的影响。

关键词：Co薄膜；化学溶液沉积法；微结构及电学性能的研究