第3章电容式传感器.pptVIP

3.3电容式传感器的误差分析一、电容电场的边缘效应前面对电容传感器工作原理、灵敏度、非线性分析时均未考虑电容极板间电厂的边缘效应。在平行极板的边缘部分，电力线是弯曲的，因而产生附加电容（相当于给传感器并联一个电容），附加电容的存在使得电容传感器的灵敏度下降、非线性误差增大，这种现象称为电容传感器的边缘效应。因此要想办法消除和减小边缘效应的影响。为了克服边缘效应，应增大初始电容量C0，即增大极板面积，减小极板间距。但增大极板面积，需要更多材料；间距太小，电容容易被击穿并有可能限制测量范围。因此，较好的方法是加装等位环。第30页，共45页，星期日，2025年，2月5日带有等位环的平板电容传感器结构原理图均匀电场1233边缘电场等位环3与电极2在同一平面上并将电极2包围，且与电极2电绝缘但等电位，这就能使电极2的边缘电力线平直，电极1和2之间的电场基本均匀，而发散的边缘电场发生在等位环3外周，不影响传感器两极板间电场。dSε第31页，共45页，星期日，2025年，2月5日二、寄生与分布电容的影响传感器除有极板间电容外，极板与周围物体（各种元件、连接导线、人体等）也产生电容联系，这种电容称为寄生电容。寄生电容与传感器电容相并联，影响传感器灵敏度，而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度，必须减小或消除它。可采用的方法有：（1）增加传感器初始电容值；（2）注意传感器的接地和屏蔽；（3）集成化；（4）采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术；（5）采用运算放大器法；（6）整体屏蔽法。第32页，共45页，星期日，2025年，2月5日第1页，共45页，星期日，2025年，2月5日第3章电容式传感器优点：（1）测量范围大、抗过载能力大；（2）灵敏度高；（3）动态响应时间短；（4）机械损失小；（5）结构简单、适应性强；（6）价格低廉等。缺点：（1）寄生电容影响较大。寄生电容主要指连接电容极板的导线电容和传感器本身的泄漏电阻。（2）当电容传感器用于变间隙原理进行测量时具有非线性输出特性。随着电子技术的不断发展，特别是集成电路的广泛应用，这些缺点也得到了一定的克服，进一步促进了电容式传感器的广泛应用。应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。电容式传感器是将被测参数变换成电容量的测量装置。第2页，共45页，星期日，2025年，2月5日3.1电容式传感器的工作原理用两块金属平板作电极可构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容量C为S—极板相对覆盖面积；d—极板间距离；ε—电容极板间介质的介电常数；ε0—真空的介电常数；εr—介质的相对介电常数；dSε第3页，共45页，星期日，2025年，2月5日若S的单位为cm2，d的单位为cm，C的单位为pF，则由式（3-1）可以看出，ε，S，d三个参数都直接影响着电容量C的大小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，那被测量的变化就可以直接由电容量的变化反映出来。所以电容式传感器可以分为三种类型：改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介质介电常数的变介电常数式。（3－1）第4页，共45页，星期日，2025年，2月5日变极距(δ）型:(a)、(e)变面积型(S)型:(b)、(c)、(d)、(f)、(g)（h）变介电常数(ε)型:（i）～(l)第5页，共45页，星期日，2025年，2月5日补充：电容相关知识平行板电容器电容器的并联电容器的串联圆柱形电容器L：内外圆柱相互覆盖部分的长度r、R：内外圆柱的半径球形电容器R1、R2：内外球形的半径第6页，共45页，星期日，2025年，2月5日一、变面积（S）型θ动片定片（a）角位移式如图（a）是角位移式电容器原理图。当动片有一角位移θ时，两极板间的覆盖面积S就改变了，因此改变了两极板间的电容量。显然：电容Cθ与角位移θ呈线性关系。第7页，共45页，星期日，2025年，2月5日板状线位移变面积型第8页，共45页，星期日，2025年，2月5日当其中一个极板发生x位移后，改变了两极板间的遮盖面积S，电容量C同样随之变化。（b）直线位移式电容Cx与位移x呈线性关系。此传感器的灵敏度K：增大初始电容值C0可以提高传感器的灵敏度。但x变化不能太大，否则边缘效应会使传感器特性产生非线性变化。第9页，共45页，星期日，2025年，2月5日同心圆筒形线位移电容式传感器第10页，共45页，星期日，2025年，2月5日D0D1La圆