机电一体化基本概念.ppt

测量精确度，根据使用目的，可对环境条件提出一定的要求，或采取一定的措施，也可根据环境条件和传感器的环境参数指标（零点温漂、加速度、灵敏度等）。合理选用传感器；还可以采用反馈环节或微机系统来补偿甚至消除环境因素的影响。第30页，共86页，星期日，2025年，2月5日6.2.4传感器的标定与校准6.2.4.1传感器的标定利用标准设备产生已知的非电量(标准量)，用基准量来确定传感器电输出量与非电输入量之间关系的过程称为标定。工程测试中，传感器的标定应在其使用条件相似的环境状态下进行，并将传感器所配用的滤波器、放大器及电缆和传感器联接后一起标定。第31页，共86页，星期日，2025年，2月5日标定时应按照规定的安装条件进行安装。（1）静态指标输入已知标准非电量，测出传感器的输出，给出标定曲线、标定方程和标定常数，计算灵敏度、线性度、滞差、重复性等传感器的静态特性指标。传感器的静态标定设计有力标定设备(测力砝码、拉压式测力计)、压力标定设备(活塞十第32页，共86页，星期日，2025年，2月5日压力计、水银式压力计、麦市真空计)，位移标定设备(量块、直尺等)、温度标定设备(铂电阻温度计、铂铑-铂热电偶、基准光电高温比较仪)等。对标定设备的要求是具有足够的精度，至少应比被标定的传感器及其系统高一个数量级，并且符合国家计量值传递规定，或经计量单位鉴定合格，量程范围应与被标定的传感器的量程相适应，性能稳定可靠，使用方便，适应多种环境。第33页，共86页，星期日，2025年，2月5日（2）动态标定用于确定传感器的动态性能指标。通过确定其线性工作范围（用同一频率不同幅值的正弦信号输入传感器测量其输出）、频率响应函数、幅频特性和相频特性曲线、阶跃响应曲线，来确定传感器的频率响应范围、幅值误差和相位误差、时间常数、阻尼比、固有频率等。传感器的种类繁多，动态标定方法各异。几第34页，共86页，星期日，2025年，2月5日种标定中常用的动态激励设备有激振器(电磁振动台、低频回转台、机械振动台)、激波管、周期与非周期的函数压力发生器等。其中激振器可用于加速度、速度、位移、力、压力传感器的动态标定。6.2.4.2好传感器的校准传感器需定期检测其基本性能参数，判断是否可继续使用，如能继续使用，则应对其有变化第35页，共86页，星期日，2025年，2月5日的主要指标（灵敏度）进行数据修正，确保传感器的测量精确度。校准与标定的内容是基本相同的。第36页，共86页，星期日，2025年，2月5日6.3常用传感器及应用6.3.1位移和长度传感器6.3.1.1位移和长度传感器的选用位移和长度测量的常用传感器的主要特点和应用范围如下：(1)电感式传感器主要用于小位移量的测量，如尺寸偏差、形状偏差、位置偏差、表面粗糙度的测量等。测量第37页，共86页，星期日，2025年，2月5日精度高，用于小偏差测量可达亚微米精度。传感器输出阻抗小，有较强抗干扰能力，广泛用于各种测量，包括加工中测量。能用于几至几百赫兹变化量的测量。凭特殊设计，量程可达几至几十毫米。也能用于转换为位移的各种物理量测量。(2)变压器式传感器特点与应用范围大致与电感式传感器相同。日本、美国多用变压器式传感器，欧洲多用电感第38页，共86页，星期日，2025年，2月5日式传感器。我国两种传感器均有生产，但高精度场合以用电感式传感器为多。(3)电涡流式传感器主要用于尺寸和位移参数的偏差测量。也可用于不接触测量，精度可达微米级。用于形位和轮廓误差测量较少。(4)电容式传感器主要用于小位移、尺寸偏差等测量。可实现第39页，共86页，星期日，2025年，2月5日不接触测量，频率响应高(达数千赫兹)，在机床轴系测量中得到广泛应用。输出阻抗高，传感器电容值小，易受到外界环境因素的干扰，需采取妥善屏蔽措施。灵敏度高，在采取可行屏蔽措施条件下可达到很高的精度(微米至几十纳米)，采用接触式传感器可用于测量形位误差，也可用于加工中测量。可做成测角传感器，或利用介电常数的变化测量液位等。第40页，共86页，星期日，2025年，2月5日利用容栅可实现大位移测量(测量达数百毫米)。容栅结构简单、尺寸小(与光栅等相比)，常用于数显量具中，精度可达几微米。(5)接触式传感器主要用于尺寸、形位与位置误差的检测，即根据它是否超差或在哪一范围