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中国电子装备技术开发协会
《电子级硫酸制造用高纯三氧化硫》编制说明
(征求意见稿)
一、工作简况
1、任务来源
团体标准《电子级硫酸制造用高纯三氧化硫》由中国电子装备技术开发协会
于2025年7月份批准立项，计划编号：2025-027T-CAEE。本团体标准由中国
电子装备技术开发协会提出，主要起草单位：苏州双狮环境科技有限公司、惠州
市晟达新材料有限公司等
2、编制背景及目标
随着电子信息产业的快速发展，集成电路、半导体等
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