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摘要
随着科技的发展，超光滑表面材料的应用变得越来越广泛，对透明超光滑表面元件的面
形精确测量的要求也随之提高。在测量透明平行板的光学元件时，通常都会产生多表面干涉
叠加的现象，传统的干涉测量技术难以实现透明元件前后表面面形的同时测量。因而，研究
本课题对测量透明光学元件面形具有非常重要的意义。
本文研究了载波傅里叶变换算法与最小二乘迭代相移算法，从空域和时域两方面研究求
解透明光学元件前后两个表面的方法。载波傅里叶变换算法只需要一幅干涉图，便可以快速
地求出面形，但是需要引入载波，将载波干
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