硅片的清洗与制绒.pptVIP

硅片清洗与制绒各向异性腐蚀机理：Seidel电化学模型：单晶制绒*第30页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒绒面形成机理：A、金字塔从硅片缺陷处产生；B、缺陷和表面沾污造成金字塔形成；C、化学反应产生的硅水合物不易溶解，从而导致金字塔形成；D、异丙醇和硅酸钠是产生金字塔的原因。硅对碱的择优腐蚀是金字塔形成的本质，缺陷、沾污、异丙醇及硅酸钠含量会影响金字塔的连续性及金字塔大小。单晶制绒*第31页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒绒面形成最终取决于两个因素：腐蚀速率及各向异性腐蚀速率快慢影响因子：1、腐蚀液流至被腐蚀物表面的移动速率；2、腐蚀液与被腐蚀物表面产生化学反应的反应速率；3、生成物从被腐蚀物表面离开的速率。单晶制绒*第32页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒具体影响因子：NaOH浓度溶液温度异丙醇浓度制绒时间硅酸钠含量槽体密封程度、异丙醇挥发搅拌及鼓泡单晶制绒*第33页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒NaOH浓度对绒面形貌影响：NaOH对硅片反应速率有重要影响。制绒过程中，由于所用NaOH浓度均为低碱浓度，随NaOH浓度升高，硅片腐蚀速率相对上升。与此同时，随NaOH浓度改变，硅片腐蚀各向异性因子也发生改变，因此，NaOH浓度对金字塔的角锥度也有重要影响。单晶制绒85oC，30min，IPAvol10%*第34页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒NaOH浓度对绒面反射率影响：单晶制绒*第35页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒温度影响：温度过高，IPA挥发加剧，晶面择优性下降，绒面连续性降低；同时腐蚀速率过快，控制困难；温度过低，腐蚀速率过慢，制绒周期延长；制绒温度范围：75-90oC。单晶制绒*第36页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒IPA影响：1、降低硅片表面张力，减少气泡在硅片表面的粘附，使金字塔更加均匀一致；2、气泡直径、密度对绒面结构及腐蚀速率有重要影响。气泡大小及在硅片表面的停留时间，与溶液粘度、表面张力有关，所以需要异丙醇来调节溶液粘滞特性。单晶制绒*第37页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒IPA影响：除改善消泡及溶液粘度外，也有报道指出IPA将与腐蚀下的硅生成络合物而溶于溶液。单晶制绒*第38页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒时间影响：制绒包括金字塔的行核及长大过程，因此制绒时间对绒面的形貌及硅片腐蚀量均有重要影响。单晶制绒abdabdc1min;5min;10min;30min.*第39页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒时间影响：经去除损伤层，硅片表面留下了许多浅的准方形腐蚀坑。1分钟后，金字塔如雨后春笋，零星的冒出了头；5分钟后，硅片表面基本被小金字塔覆盖，少数已开始长大。我们称绒面形成初期的这种变化为金字塔“成核”。10分钟后，密布的金字塔绒面已经形成，只是大小不均匀，反射率也降到了比较低的水平。随时间延长，金字塔向外扩张兼并，体积逐渐膨胀，尺寸趋于均匀。随制绒时间进一步延长，绒面结构均匀性反而下降，如图e，f所示。单晶制绒*第40页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒时间影响：单晶制绒e.35min;f.45min*第41页，共68页，星期日，2025年，2月5日硅片清洗与制绒硅酸钠含量影响：硅酸钠具体含量测量是没必要的，只要判定它的含量是否过量即可。实验用浓盐酸滴定，若滴定一段时间后出现少量絮状物，说明硅酸钠含量适中；若滴定开始就出现一团胶状固体且随滴定的进行变多，说明硅酸钠过量。相对而言，制绒过程中，硅酸钠含量具有很宽的窗口。实验证实，初抛液硅酸钠含量不超过30wt%，制绒液硅酸钠含量不超过15%，均能获得效果良好的绒面。尽管如此，