磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管：工艺、性能与展望.docx

磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管：工艺、性能与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子技术迅猛发展的背景下，薄膜晶体管（ThinFilmTransistors，TFT）作为构建各类电子器件的基础元件，其性能优劣对整个电子系统的表现起着决定性作用。非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管（a-IGZOTFT），作为新一代薄膜晶体管的杰出代表，凭借其卓越的性能优势，在显示技术、传感器、集成电路等众多领域展现出巨大的应用潜力，已然成为学术界和产业界共同关注的焦点。

在显示技术领域，a-IGZOTFT的出现掀起了一场技术革新的浪潮。随着人们对显示设备的要求日益提升，如追求更高的分辨率、