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Zeiss蔡司扫描电镜操作手册.pdf

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    ZeissSEM培训资料

    SEM操作手册

    一、开机

    在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一

    图一

    a接通电源后，按红色按钮，电镜通电。

    b按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。

    c约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入

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