第九章半导体传感器.pptVIP

9.半导体传感器第1页，共31页，星期日，2025年，2月5日9.1引言一、敏感材料-半导体。利用半导体材料的物理效应，把被测物理量的变化转换为电信号，制作成各种半导体传感器。二、优点1、结构简单、微型化；2、灵敏度高，动态性能好，输出为电物理量；3、易实现集成化、智能化；4、功耗低，安全可靠。第2页，共31页，星期日，2025年，2月5日三、缺点1、线形范围窄（线性化补偿电路）；2、输出特性易受温度影响；3、性能参数离散性大。但随着大规模集成电路的发展，半导体传感器技术越来越完善。本章介绍气敏、湿敏、色敏半导体式传感器。第3页，共31页，星期日，2025年，2月5日9.2气敏式半导体传感器一、气敏传感器利用半导体气敏元件同气体接触，使半导体性质变化，以此检测特定气体的器件。可测量气体类别、浓度和成分。分为半导体气敏传感器和非半导体气敏传感器。半导体气敏传感器分为电阻型和非电阻型。第4页，共31页，星期日，2025年，2月5日半导体气敏器件的分类第5页，共31页，星期日，2025年，2月5日二、电阻型半导体气敏传感器1、导电机理1）利用气体在半导体表面的氧化和还原反应使敏感元件阻值变化而制成的传感器。2）原理如传感器的温度保持在高温状态，自由电子在内部流动，清洁的空气中时，表面吸附氧，自由电子被俘获，传感器阻值增加。如环境气氛中存在可燃性气体等还原性气体，该气体与氧发生反应，吸附的氧减少，电子又会移动，传感器阻值减小。第6页，共31页，星期日，2025年，2月5日其中：具有负离子吸附倾向的气体-氧化型气体。具有正离子吸附倾向的气体-还原型气体。氧化型气体吸附到N/P型半导体，还原型气体吸附到P/N型半导体，半导体阻值上升/下降。从阻值的变化分析气体中的种类和浓度。第7页，共31页，星期日，2025年，2月5日N型半导体吸附气体时器件阻值变化图3）半导体气敏电阻的阻值将随吸附气体的浓度变化而改变。响应时间：小于1min。第8页，共31页，星期日，2025年，2月5日2、传感器结构1）气敏元件、加热器和封装体等组成。气敏元件分为烧结型、薄膜型、厚膜性。2）烧结型气敏器件结构图：电极（铂丝）氧化物半导体加热器玻璃（尺寸约1mm，也有全为半导体的）第9页，共31页，星期日，2025年，2月5日以SnO2半导体材料为基体，将铂电极和加热丝埋入SnO2材料中，加热加压，通过700~900摄氏度的制陶工艺烧结而成。一般分为内热式和旁热式。电极（铂丝）氧化物半导体加热器玻璃（尺寸约1mm，也有全为半导体的）第10页，共31页，星期日，2025年，2月5日管芯体积小，加热丝直接埋在金属氧化半导体材料内。特点：制作工艺简单。热容量小，易受环境气流影响，测量回路与加热回路间互相影响，易造成加热丝与材料接触不良的现象。a、内热式器件结构图：电极电极电极电极SnO2烧结体第11页，共31页，星期日，2025年，2月5日b、旁热式器件结构图：管芯在陶瓷管内放置高阻加热丝，瓷管外涂金电极及气敏半导体材料。克服了内热式的缺点，且其稳定性和可靠性比内热式的好。特点：制作简单，寿命长。但机械强度不高，电性能一致性较差。电极加热器电极陶瓷绝缘管电极SnO2烧结体电极第12页，共31页，星期日，2025年，2月5日3）薄膜型气敏器件在石英基片上形成氧化物半导体薄膜。结构图：其中，SnO2和ZnO薄膜的气敏特性较好。特点：互换性好，产量高，成本低。0.6mm电极0.5mm半导体加热器电极绝缘基片3mm3mm第13页，共31页，星期日，2025年，2月5日4）厚膜型气敏器件结构图：解决器件一致性问题。特点：一致性好，适于批量生产。5）加热器烧掉尘埃，加速气体的吸附，提高器件灵敏度和响应速度。氧化物基片Pt电极氧化物半导体器件加热