小型粘滑驱动位移台设计与驱动特性研究.pdfVIP

摘要

随着现代科学技术的发展，先进制造已然成为全球制造业的重点发展方

向。在先进制造领域应用的众多高新技术中，对驱动技术高精密化及小型化

的需求不断增大，基于压电材料的微驱动技术已经成为关键技术之一。在众

多压电驱动器中，粘滑式压电驱动器将柔性铰链机构与压电材料相结合，具

有体积小、行程大、定位精度高等优势，在空间限制较大的环境下也能够具

有优秀的驱动能力。然而，粘滑式压电驱动器存在着输出力较小、回退运动

难以消除等问题。在粘滑驱动位移台的实际使用中，载荷的变化也会对位移

台速度、定位精度产生一定影响，而在调整粘滑驱动器预紧以获得更大输出

力时易加剧回退现象。因此，亟需对粘滑驱动器的驱动特性作进一步研究分

析，为粘滑驱动位移台的结构设计及驱动控制方法优化提供研究指导，从而

提高粘滑驱动位移台的性能，加快粘滑驱动技术在先进制造领域更广泛、全

面的应用。因此，本课题面向超精密加工设备中对光学微驱动阵列器件的需

求，以设计小型粘滑驱动位移台为目标，主要完成了以下研究工作：

（1）粘滑驱动位移台动力学模型建立及仿真。为了揭示位移台系统内部

各组件的相互作用和反馈机制，进一步深入理解粘滑驱动位移台的作动机理，

进而指导粘滑驱动位移台的设计，需要开展位移台动力学模型建立及仿真工

作。本文结合粘滑驱动位移台基本工作原理及实际使用环境，基于模块化建

模思想，将粘滑驱动位移台动力学模型分为压电叠堆模块、柔性铰链模块、

摩擦模块及滑块模块。针对摩擦模块，分析了现有摩擦模型的优缺点，最终

选定LuGre摩擦模型用以描述粘滑驱动中的摩擦行为。对于其余模块，则根

据牛顿第二定律分别建立各模块的动力学模型。最终通过联立上述各模块的

动力学方程，得到粘滑驱动位移台动力学模型。接着，本文基于已建立的粘

滑驱动位移台动力学模型，通过仿真研究了动力学模型中部分设计参数对位

移台输出特性的影响规律，分析了各设计参数的作用机理。为小型粘滑驱动

位移台的设计提供了重要设计指导和优化方向。

（2）粘滑驱动位移台原理样机设计与步进运动特性实验研究。由于建立

的位移台动力学模型不可避免地与现实情况存在误差，为进一步通过实验验

证粘滑驱动主要规律，并获取粘滑驱动位移台工程样机的关键设计参数，需

要设计一种粘滑位移台原理样机，通过实验研究粘滑位移台的运动特性，为

位移台工程样机的设计奠定基础。本文通过设计一型包括导轨滑块、手动位

移台、压力传感器、通用驱动器安装座及一种具备可更换驱动足、可调节叠

堆预紧力的簧片式柔性机构等在内的粘滑驱动位移台原理样机，在验证仿真

中提出的部分粘滑驱动特性及规律的同时，得到了运动方向输出力与驱动预

紧力的基本关系，获取了压电叠堆预紧力、驱动足类型等关键设计参数。

（3）粘滑驱动位移台工程样机设计与驱动特性研究。为了达到最终设计

要求，需要在动力学模型仿真及位移台原理样机相关研究成果的基础上，设

计小型粘滑驱动位移台工程样机，并开展一系列实验测试其开环性能。因此，

本文在动力学模型仿真结果及位移台原理样机实验测试结果提供的设计思

路、规律、重要设计参数的基础上，设计了小型粘滑驱动位移台工程样机，

其中包括一型扭转型粘滑驱动器。基于实际应用场景及需求，本文设定了粘

滑驱动位移台的两类工作模式，即连续步进模式及脉冲步进模式。在两种工

作模式下，针对所设计的扭转型粘滑驱动器分别开展了以步进运动速度及步

进运动步长为主要指标的实验研究，得出了相应工作模式场景下的参数优化

方法及规律。最终利用上述方法及规律，针对小型粘滑驱动位移台工程样机

完成了开环实验测试。经调试得到小型粘滑驱动位移台工程样机主要性能指

标如下：位移台工程样机空载时，在连续步进模式下，位移台滑块的最大速

度约为18.20mm/s，在脉冲步进模式下，位移台滑块步进运动的最小步距约

为25nm；位移台工程样机垂向负载1kg时，在连续步进模式下，位移台滑

块的最大速度约为17.30mm/s，在脉冲步进模式下，位移台滑块的步进运动

最小步距约为40nm。

关键词：压电粘滑驱动；动力学模型；柔性铰链；小型精密位移台

Abstract

Withthedevelopmentofmodernscienceandtechnology,advanced

manufact