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2025-11-28 发布于贵州
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半導體氣體特性及系統介紹

1.BulkGasSupplySystem

2.SpecialtyGasSupplySystem

BulkGasSystem

Purifier

AfterFilter

PureGastoFab

Purifier

TankBeforeFilter

Vaporizer

GeneralGas

toFab

Rev.8902-B

一.大宗氣體供應系統-BulkGasSupplySystem

•1.什麼是大宗氣體:一般指用量較大的氣體,無色無味無臭,但仍有潛在

的危險(部分具窒息性).

*CDA(UCCA)/IA–壓縮乾燥空氣/儀器推動空氣/呼吸用空氣

*HPCDA(HCDA)–高壓壓縮乾燥空氣

*GN2-一般氮氣

*PN2-純化氮氣

*PHE-純化氦氣

*PAR-純化氬氣

*PO2-純化氧氣

*PH2-純化氫氣

CDAflowsheet:

N2flowsheet:

O2flowsheet:

Arflowsheet:

H2flowsheet:

Heflowsheet:

BulkGas供應系統介紹:

Storage

Produced

GAStankContainerTrailerBundleCompressor

on-site

TYPE桶槽儲存罐槽車集束鋼瓶壓縮機

CDAV

N2VV

O2VV

ArV

H2VVVV

HeVVV

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