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半导体的资料CMOS-Process-Flow-Customer.pptVIP

半导体的资料CMOS-Process-Flow-Customer.ppt

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    CMOSProcessFlow

    ProcessFlow1.WaferstartP-typeP-sub2

    N-WellImplant2.Padoxide:P-subPadOxide3

    N-WellImplant3.SiNDeposition:P-subSiNPadOxide4

    N-WellImplant4.N-wellphoto:P-subSiNPadOxidePR5

    N-WellImplant5.SiNdryetch:P-subSiNPRPadOxide6

    N-WellImplant6.N-wellImplant:P31P-subSiNPRPadOxideN-Well7

    P-WellImplant7.N-wellPRstripping:P-subSiNPadOxideN-Well8

    P-WellImplant8.Welloxide:P-subSiNPadOxideN-WellWellOXDrivein9

    P-WellImplant9.SiNstripping:P-subPadOxideN-WellWellOX10

    P-WellImplant10.P-WellImplant:P-subPadOxideN-WellWellOXP-WellB1111

    P-WellImplant11.WellDiffusion:P-subPadOxideN-WellWellOXP-WellDrivein12

    P-FieldImplant12.Well-oxideremove:P-subN-WellP-Well13

    P-FieldImplant13.Padoxide:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxide14

    P-FieldImplant14.SiNDeposition:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiN15

    P-FieldImplant15.Activeareaphoto:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiNPRPR16

    P-FieldImplant16.SiNdryetch:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiNPRPR17

    P-FieldImplant17.PRStripping:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiN18

    P-FieldImplant18.P-FieldImplantPhoto:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiNPR19

    P-FieldImplant19.P-FieldImplantP-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiNPRP-P-B1120

    P-FieldImplant120.PRstripping:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiNP-P-21

    LOCOSVTImplant21.Fox:SINPadOxideSINFOXPadOxideP-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideSiNSiNP-P-FOXFOXFOXFOX22

    LOCOSVTImplant22.SiNStripping:P-subN-WellP-WellPadOxidePadOxideP-P-FOXFOXFOX23

    LOCOSVTImplant23.Pad_oxideremove:P-subN-WellP-WellP-P-FOXFOXFOX24

    LOCOSVTImplant24.Sac_oxide:P-subN-WellP-WellP-P-FOXFOXFOXSACOXFOXSACOX25

    LOCOSVTImplant25.VTimplant:P-subN-WellP-WellP-P-FOXFOXFOXSACOXFOXSACOXB1126

    GateOxidePolyGateDefine26.SAC_OXremove:P-subN-WellP-WellP-P-FOXFOXFOXFOX6000A27

    GateOxidePolyGateDefine27.Gate_OX: Gate_OXP-subN-WellP-WellP-P-FOXFOXFOXFOXGate_OX28

    GateOxidePolyGateDefine28.Polydepos

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