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HotWorkingTechnology2022,Vol.51,No.20

粗糙度对TC4合金表面类金刚石薄膜

腐蚀性能影响的研究

周家众，赵萌，胡云龙，祁继隆，陈东旭

（辽宁科技大学材料与冶金学院，辽宁鞍山114051)

摘要：利用等离子体增强化学气相沉积技术，在不同粗糙度的TC4钛合金表面制备类金刚石（DLC）薄膜。分别

利用Raman光谱、接触角仪、粗糙度仪及划痕仪对薄膜的成分、疏水性能、粗糙度及结合力进行表征；同时利用自制的

磨损腐蚀装置，对不同DLC薄膜的磨损腐蚀行为进行研究；探讨了粗糙度对TC4合金表面DLC薄膜磨损腐蚀性能的

影响规律及相应机制。结果表明，粗糙度的增加会降低薄膜发生腐蚀的热力学倾向，800薄膜的稳定性最高，不易发生

腐蚀。磨损腐蚀过程主要受到膜-基结合力的影响。粗糙度为60#和2000*的薄膜结合力较低，在磨损腐蚀过程中易破损

造成腐蚀介质渗人，导致微区水化学环境改变而加剧腐蚀，最终在磨损和腐蚀的协同作用下导致膜层失效。

关键词：TC4钛合金；类金刚石薄膜；磨损腐蚀；粗糙度；电化学

D0I:10.14158/ki.1001-3814

中图分类号：TG174文献标识码：A

ResearchonEffectsofRoughnessonErosionCorrosionPropertiesofDLCFilms

onSurfaceofTC4Alloy

ZHOUJiazhong,ZHAOMeng,HUYunlong,QIJilong,CHENDongxu

(SchoolofMaterialsandMetallurgy,UniversityofScienceandTechnology,Anshan114051,China)

Abstract:Plasma-enhancedchemicalvapordepositionwasusedtopreparediamond-likecarbon(DLC)filmonthe

surfaceofTC4alloywithdifferentroughness.Thecomposition,hydrophobicity,roughnessandbindingforceofthefilms

werecharacterizedbyRamanspectroscopy,contactanglemeter,roughnessmeterandscratchmeter,respectively.Meanwhile,

theerosioncorrosionbehaviorsofdifferentDLCfilmswereinvestigatedbyself-madeerosioncorrosiondevice.Theeffectsof

roughnessontheerosioncorrosionpropertiesofDLCfilmsonthesurfaceofTC4alloywereinvestigated,andthe

correspondingmechanismwasalsodiscussed.Theresultsshowthattheincreaseinroughnesscanreducethethermodynamic

tendencyofthefilmtocorrode.Thefilmwith8oo*hasthehigheststability,whichisnotpronetocorrosion.Theerosion

processismainlyaffectedbythebondingforcebetweenthefilmand