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氮化铝表面仿生织构-液态镓复合改性与磨削优化研究.pdf

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    湖南理工学院硕士学位论文摘要

    摘要

    氮化铝(AlN)陶瓷作为第三代半导体的关键基材，在极端工况下展现出优异的

    热导率与电绝缘性能，但其高硬脆特性导致传统磨削工艺易引发表面裂纹与亚表

    面损伤，严重制约加工精度与器件可靠性。本文提出“仿生织构耦合液态镓涂层”

    的复合改性策略，通过激光微加工与界面工程协同优化氮化铝的磨削性能。首先，

    基于杜仲叶脉的分形网络特征，采用统计学分析与流体动力学仿真构建

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