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2026-2030中国碳化硅外延设备市场深度调查与发展前景预测报告版.docx

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    2026-2030中国碳化硅外延设备市场深度调查与发展前景预测报告版

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    TOC\o1-3\h\z\u14187摘要 3

    17929一、中国碳化硅外延设备市场发展背景与战略意义 5

    302561.1碳化硅半导体产业在全球能源转型中的关键作用 5

    8721.2国家“双碳”战略对碳化硅外延设备需求的驱动机制 6

    11685二、碳化硅外延设备技术原理与核心构成 8

    308282.1外延生长工艺技术路线对比（CVD、MBE等） 8

    158872.2设备核心模块解析 11

    13298三、全球碳化硅外延设备市场格局分析 12

    50763.

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