超声波扫描显微镜.pptVIP

HourglassshapedbeamthatnarrowstothespotsizeatthewaistFocalplaneSpotSizeFocalLengthTransducerResolution(探头分辨率)每一款传感器的SpotSize是由传感器的频率，焦距和镜头半径决定的。BeamfromaFocusedTransducer聚焦超声波传感器探头Sonoscan拥有自己研发制造唯一的多款同一频率不同FL的探头第29页，共75页，星期日，2025年，2月5日FocalplaneSpotsizeHourglassshapedbeamthatnarrowstothespotsizeatthewaistDepthofField?X=Spotsize=1.22F#?Resolution(reflectionmode)=?X(0.707)?Z=Depthoffield=7.1(F#)2?Example:@50MHzandF#2inwaterDXis0.073mm,resolutionis0.052mmandDZis0.85mmFocalLengthDiameterVelocity(mm/ms)Frequency(MHz)F#=?=FocalLengthBeamfromaFocusedTransducer聚焦超声波传感器探头Sonoscan拥有自己研发制造唯一的多款同一频率不同FL的探头第30页，共75页，星期日，2025年，2月5日一、分辨率：超声波显微镜的分辨率主要受探头的频率影响，理论分辨率可以达到声波在材料内的波长L的1/2～1/3,这里波长L，L＝V/f这里V表示声波在材料内纵向传播速度，f表示探头的频率，可见探头频率越大，则分辨率越大。但同时可见，超声波显微镜的实际分辨率还受到声波在材料内部纵向传播速度，探头聚焦长度，焦点直径的影响，因此对于不同性质的材料或不同聚焦长度、直径的探头，仪器实际的分辨率是有差异的。SpecialParameterofTransducersforAMI超声波扫描探头选择的主要参数第31页，共75页，星期日，2025年，2月5日二、灵敏度：超声波显微镜探头的灵敏度影响到仪器分辨率所能达到的水平，一般的探头只能达到波长L的1/2，而比较好的探头则能达到波长L的1/3。影响灵敏度的因素主要决定于探头焦点的直径，通常来说焦点直径越小，灵敏度越大。但实际的焦点直径非常难精确的测量出来，因为声波聚焦点没有明确的边界，而是以不同灰度形状环绕在一起。目前Sonoscan公司自己研发的探头焦点直径能做到微米以下直径。林状波SpecialParameterofTransducersforAMI超声波扫描探头选择的主要参数第32页，共75页，星期日，2025年，2月5日三、穿透深度：超声波显微镜探头对材料的穿透深度主要受到二个因素影响：探头聚焦声波波束在被检测材料与中间耦合剂之间的折射率N：N=CL,Material/CL,Water这里CL,Material表示声波在被检测材料内的纵向速度，CL,Water表示声波在中间介质中的传播速度（通常用水CL,Water=1.5mm/μs）；材料对声波的吸收系数：吸收系数是由材料内部的晶格大小、材料性质，空隙度等决定，因此比较难以仅用探头来决定穿透的深度，还取决于不同的材料，或同一种材料内部的晶格、空隙等因素。SpecialParameterofTransducersforAMI超声波扫描探头选择的主要参数第33页，共75页，星期日，2025年，2月5日GeneralApplicationforDifferentFrequencyofTransducers不同频率探头的应用领域举例LowFrequency(10-50MHz):Anodicbonding,weldingstructures,packages:低频探头(10MHz–30MHz):delaminations,defects;电极封装、焊接内部结构的分层缺陷、杂质、裂纹等MidFrequency(50