第六章电离子束加工.pptVIP

第1页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工⒈电子束加工的原理：电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高（106～109W/㎝2）的电子束，以极高的速度冲击到工件表面极小面积上，在极短的时间（几分之一微秒）内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料局部熔化和气化，被真空系统抽走。第2页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工第3页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工控制电子束能量密度的大小和能量注入，就可以达到不同的加工目的。⑴电子束热处理：只使材料局部加热就可进行电子束热处理⑵电子束热焊接：使材料局部熔化就可进行电子束热焊接⑶电子束打孔、切割等加工：提高电子束能量密度，使材料熔化和气化就可进行电子束打孔、切割等加工⑷电子束光刻加工：利用较低能量密度的电子束轰击高分子材料时产生化学变化的原理，即可进行电子束光刻加工。第4页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工⒉电子束加工的特点：⑴加工面积很小，是一种精密微细的加工方法。电子束能够极其微细地聚焦，甚至能聚焦到0.1μm。⑵非接触式加工。工件不受机械力作用，不产生宏观应力和变形。脆性、韧性、导体、非导体及半导体材料都可加工。照射部分的温度超过材料的融化和气化温度，去除材料主要靠瞬时蒸发。⑶加工生产率很高能量密度高，每秒钟可以在2.5㎜厚的钢板上加工50个直径为0.4㎜的孔。第5页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工⒉电子束加工的特点：⑷整个加工过程便于实现自动化可以通过磁场或电场对电子束的强度、位置、聚焦等进行直接控制。⑸加工表面不会氧化，特别适用于加工易氧化的金属及合金材料，以及纯度要求极高的半导体材料。电子束加工是在真空中进行，污染少。⑹价格较贵，生产应用有一定局限性。电子束加工需要一套专用设备和真空系统。第6页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工3.电子束加工装置：电子枪、真空系统、控制系统和电源等部分组成。（1）电子枪（2）真空系统（3）控制系统和电源第7页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工4.电子束加工的应用电子束加工按其功率密度和能量注入时间的不同，可用于打孔切割蚀刻焊接热处理光刻加工等。第8页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工（1）高速打孔（2）加工型孔及特殊表面（3）电子束曝光4.电子束加工的应用第9页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工第10页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工第11页，共28页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工第12页，共28页，星期日，2025年，2月5日第二节离子束加工离子束加工：利用离子束对材料进行成形和改性的加工方法。一离子束加工原理、分类和特点二离子束加工装置三离子束加工的应用第13页，共28页，星期日，2025年，2月5日第二节离子束加工一离子束加工原理、分类和特点⒈离子束加工的原理和物理基础⑴离子束加工的原理：离子束加工的原理是在真空条件下，将离子源产生的离子束经过加速聚焦，使之撞击到工件表面，靠微观的机械撞击能量来加工的。与电子束相比：1)相同点：①在真空条件中进行②粒子束加工2)不同点：①带正电荷的离子。质量比电子大数千、数万倍，如氩离子的质量是电子的7.2万倍。②靠微观的机械撞击能量来加工的。离子束比电子束具有更大的撞击动能。第14页，共28页，星期日，2025年，2月5日第二节离子束加工一离子束加工原理、分类和特点⒈离子束加工的原理和物理基础⑵离子束加工的物理基础：离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应、注入效应1)离子的撞击效应和溅射效应：具有一定动能的离子斜射到工件材料(或靶材)表面时，可以将表面的原子撞击出来，这就是离子的撞击效应和溅射效应。离子刻蚀(离子铣削)、离子溅射沉积和离子镀①离子刻蚀(离子