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原子力显微镜反馈信号检测技术：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学研究的微观领域中，原子力显微镜（AtomicForceMicroscope，AFM）作为一种具有原子级高分辨能力的新型仪器，自1986年由IBM公司的Binning、Rohrer和斯坦福大学的Quate共同发明以来，便在纳米科学研究领域占据了举足轻重的地位。它的出现，使得科学家们能够直接观察和研究物质表面的原子和分子结构，为纳米科学的发展提供了强大的技术支持，宛如给科学家们提供了一把可以窥视原子世界的“放大镜”。

AFM的核心在于通过检测样品表面与针尖之间极其微弱的原子间相互作