T_CI 220-2023 高精度三维测头.docxVIP

ICS17.040.30CCSL85

T

团体标准

T/CI220-2023

高精度三维测头

Highprecision3Dprobe

2023-12-7发布2023-12-7实施

中国国际科技促进会发布

I

T/CI220-2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由通用技术集团哈尔滨量具刃具有限责任公司提出。

本文件中国国际科技促进会归口。

本文件起草单位：通用技术集团哈尔滨量具刃具有限责任公司、通用技术集团机床工程研究院有限公司天津分院、通用技术集团沈阳机床有限责任公司、哈尔滨工业大学、黑龙江省计量检定测试研究院、通用技术集团国测时栅科技有限公司、哈尔滨精达测量仪器有限公司。

本文件主要起草人：张海亮、杨福来、米艳强、张蕾、赵红、刘永猛、张海波、彭凯、赵建、于思淼、张瀚予、周广才。

T/CI220-2023

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高精度三维测头

1范围

本文件规定了齿轮测量中心用高精度三维测头的检测项目和检测方法。

本文件适用于测量范围在±1mm内的高精度三维测头的检测，其他测量范围的三维测头可以参考执行。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T10095.1圆柱齿轮ISO齿面公差分级制第1部分：齿面偏差的定义和允许值

GB/T10095.2圆柱齿轮精度制第2部分：径向综合偏差与径向跳动的定义和允许值

GB/T22097齿轮测量中心

JJF1001-2011通用计量术语和定义

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

线性度linearity

线性度是指测试系统的输出与输入系统保持线性比例关系的一致程度。3.2

迟滞误差hysteresiserror

传感器在正反行程中输出输入曲线不重合的现象称为迟滞，迟滞误差又叫回程误差，传感器正行程及反行程中输出信号差值的最大者即为回程误差。

4检测要求

4.1检测环境要求

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检测时室内温度应在20℃±1℃,温度变化≤1℃/h，相对湿度≤70%RH，受检高精度三维测头在检定室内平衡温度时间不小于12h，检定工具在室内平衡温度时间不小于12h。

4.2检测外观要求

4.2.1检测要求

产品不应有碰伤、锈蚀，防护涂层、镀层均匀完好，无瑕疵，标识完整。

4.2.2检测方法

目力观测。

4.3各轴行程要求

4.3.1检测工具

齿轮测量中心。

4.3.2检测要求

在齿轮测量中心的测量软件上显示，X、Y、Z三轴的负方向≤-1mm，正方向≥1mm。

4.3.3检测方法

在测针座上安装校准测针并将测针固定，并观察三维测头各方向的满量程示值，X、

Y、Z三个方向测量示值范围都能应能达到检测要求。

4.4线性度要求

4.4.1检测工具

齿轮测量中心。

4.4.2检测要求

X、Y、Z轴线性度均≤1%。

4.4.3检测方法

在测针座上安装校准测针并将测针固定，使用传感器特性检测软件的线性度测量功能移动滑板，运动方式选择单次，选定运动轴，运动距离设置2mm，运动次数设定20次，速度设定10mm/s，点击开始，等待自动测量结束后点击计算获得该测量轴的线性度测量结果。线性度要在X、Y、Z三个测量轴分别进行测量。

4.5迟滞误差要求

4.5.1检测工具

齿轮测量中心。

4.5.2检测要求

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X、Y、Z轴迟滞误差均≤1%。

4.5.3检测方法

在测针座上安装校准测针并将测针固定，使用传感器特性检测软件的迟滞误差测量功能移动滑板，运动方式选择单次，选定运动轴，运动距离设置2mm，运动次数设定20次，速度设定10mm/s，勾选往返，点击开始，等待自动测量结束后点击计算获得该测量轴的迟滞误差测量结果。迟滞误差要在X、Y、Z三个测量轴分别进行测量。

4.6高精度三维测头应用综合误差要求

4.6.1测量渐开线齿廓总偏差Fα时的示值误差要求

4.6.1.1检测工具

齿轮测量中心、二等渐开线样板。

4.6.1.2检测要求

测量渐开线样板小端齿面（rb=60mm），示值误差≤1.6μm；测量渐开线样板大端齿面（rb=150mm），示值误差≤2.5μm。

4.6.1.3检测方法

在